文档介绍：偏磷酸清洁指南扩散设备设计的缺陷,导致偏磷酸异常堆积,对硅片极易造成污染,必须定期组织人手对设备上的偏磷酸进行清洁,以保证生产的正常进行。现规范如下:清洁准备工具:橡胶手套、无尘布、酒精、铲子、垃圾篓、眼罩、口罩、喷壶。人员:人高马大、细心、负责、手法熟练的男操作员和辅助人员几名。时间:白班生产阶段,以生产结束后为宜,每周一次。设备:以降温后的炉管为宜,如保证生产不能降温,清洁暂时无生产的炉管,同时取下所有的舟托,设备人员卸下机器上的挡板,机械臂纵轴回原点。清洁流程清洁人员戴好眼罩、口罩、手套,从机器浆尾进入机器,辅助人员从旁递送无尘布、铲子。清洁人员从一号炉开始,先拿出废液盘,以无尘布擦拭盘子底部后交给辅助人员清理。然后使用铲子把炉口上方堆积的偏磷酸固体铲下,再以喷洒过酒精的无尘布擦拭上方和炉门周围。使用无尘布擦拭掉堆积在炉口下面和底板上的液体偏磷酸,然后使用铲子铲掉凝结在铁板上的固体杂质,聚成一团用无尘布覆盖抓走。至无明显的残留物后使用无尘布蘸酒精擦拭铁板。由上至下,从一号炉管到四号炉管依次重复以上过程,然后用无尘布轻轻擦拭碳化硅浆面,清理掉碎片,滴落上去的偏磷酸以铲子轻轻刮掉。依次每台机器重复以上过程,完成清理工作。安全提示偏磷酸化学性质:偏磷酸化学式HPO3,分子量80,无色玻璃状体,易潮解,~,易溶于水并生成正磷酸(H3PO4)。常见的偏磷酸是三聚偏磷酸(HPO3)3和四聚偏磷酸(HPO3)4,其化学式均写简为HPO3。偏磷酸有剧毒。用作化学试剂、脱水剂、催化剂。由磷酸高温脱水或由五氧化二磷跟适量冷水反应制得。白色或淡黄色结晶,有蒜味,易潮解;沸点200℃(分解);℃;易溶于水、醇;相对密度(水=1);稳定性:稳定;危险标记:20(酸性腐蚀品)。侵入途径:吸入、食入、经皮吸收。对人体的影响:剧毒,对呼吸道有刺激性。眼接触或致灼伤,造成永久性损害。皮肤接触可致严重灼伤。