涡轮分子泵说明书.doc

文档介绍：涡轮分子泵说明相关零件资料如下:TURBOMOLECULARPUMPTG220FVWB-94涡轮分子泵POWERSUPPLYTOTMPTC223-10涡轮分子泵供电中频电源REMOTETRANSFORMCABLEONP/SSIDE连接线MOTORTRANSFORMCABLEONP/SSIDE连接线MOTORTRANSFORMCABLEONBODYSIDE连接线该涡轮分子泵及配套电源用于电子束焊机电子枪室的抽真空,真空度要求高。主要规格:排气速度:N2220L/s最大压缩比:N21×108到达压力:<1×10-8Pa起动时间:1—:—::最大400VA工作原理:涡轮分子泵是应用高速旋转的叶轮将动量传给气体分子,使气体产生定向活动的原理来抽气。其优点是启动快,耐大气冲击,无气体存储和解吸效应,无油蒸气污染或污染很少,能取得清洁的超高真空。性能和特性:泵的排气压力与进气压力之比称为紧缩比。紧缩比除与泵的级数和转速有关外,还与气体品种有关。分子量大的气体有高的紧缩比。对氮(或空气)的紧缩比为108~109;对氢为102~104;对分子量大的气体如油蒸气则大于1010。泵的极限压力为10-9帕,工作压力范围为10-1~10-8帕,抽气速率为几十到几千升每秒(1升=10-3米3)。涡轮分子泵必需在分子流状态(气体分子的均匀自在程远大于导管截面最大尺寸的流态)下工作才干显现出它的优越性,因而请求配有工作压力为1~10-2帕的前级真空泵。分子泵自身由转速为10000~60000转/分的中频电动机直联驱动。