文档介绍：现代仪器科学的前沿技术
纳米精度测量技术
&空间数字化测量技术
现代科技的特点
●改变21世纪的三大科技
信息科技/生命科技/材料科技
●信息技术成为推动科学技术和经济高
速发展的关键技术
●信息技术包括测量技术,计算机技术
和通讯技术,测量技术是源头、关键
基础。
测控科学的地位和作用
●伟大科学家门捷列夫曾断言,科学是从测量开始
的,没有测量就没有科学。
●测控技术及仪器是认识与改造物质世界的永恒重
要基础和手段。
●人类的生存发展依赖于测控,“农轻重、海陆空、
吃穿用”,测控技术无所不存、无处不有。
●科学技术重大发现与创新离不开测试与仪器。许多
重要的发现都是通过测量而得到的。
●现代战争中,先进的测控系统已成为精确打击武
器装备的重要组成部分。
重视与大力发展测控技术已成为大趋势
●测控技术与仪器是
的重要标志。世界各发达国家均将测控技术
列为重要发展领域。(日本列为21世纪首
位,欧共体15项专项之一,美国更大力度支
持。)
●测试技术是多学科交叉与融合,研究领域广
泛。
研究热点前沿技术主要有
1. 微纳米测量及微系统(MEMS & NEMS)
2. 空间数字化测量技术
3. 远距离遥测技术
4. 光纤分布式网络测试技术与智能结构系统
5. 全球定位系统(GPS)应用
6. 非常规与恶劣环境下的测量
7. 环境对测试的影响与控制
8. 现代精度理论及实用方法
9. 生物传感技术与仿生测量
10. 生物医学无创伤检测和OCT
几个前沿热点技术
纳米精度测量技术
空间数字化测量技术
现代精度理论及应用
纳米精度测量技术
(1)微纳技术发展
自70年代开始,首先由美国学者提出微机械设想,直到1989年开始形成世界性的MEMS技术,它把信息获取、处理和执行集成为一体,由此进入了微尺寸的新领域。
MEMS被认为是21世纪广泛应用的新兴技术,各国大量投入,进展瞩目,每年以10%-20%的速率增长。
通常认为微尺寸包含微米和纳米量级尺寸,对微纳米测量则有:
微米测量:>
微纳米测量: <100nm
深纳米测量:<10nm
(2)纳米测量仪:
扫描探针显微镜(SPM)—
原子力显微镜(AFM)、扫描隧道显微(STM)、
扫描力显微镜(SFM)等
线值纳米测量仪—
纳米坐标测量机—