文档介绍：兰州大学
硕士学位论文
聚酰亚胺电容型湿度传感器的研制
姓名:崔千红
申请学位级别:硕士
专业:微电子学与固体电子学
指导教师:杨建红
20100501
摘要湿度的测量不仅应用于日常生活,在工业生产、医疗、农业、气象分析、航天航空等领域也有广泛应用。随着科技的发展,湿度传感器正在从简单的湿敏元件向智能化、集成化、多参数检测方向改进,使用集成电路制造技术制备的湿度传感器具有价格低、精度高、稳定性好的优点。本文采用两种电极结构跽ば魏透裾ば和两种感湿介质蝗苄跃埘Q胺和可溶性聚酰亚胺兄屏说缛菪褪6却ǜ衅鳌6圆煌峁购筒牧系拇ǜ衅髯了理论研究、实际制作及测试分析。从理论上给出了器件的静态响应及动态响应特性,阐述了各种参数对器件性能造成的影响。经过工艺流片、压焊、封装、测试,获得了不同结构和材料湿度传感器的灵敏度、响应时间、湿滞等性能参数,进而做了对比分析。结果表明:在器件总面积不变的情况下,上电极线条越细,湿度传感器的响应时间越短;同种材料的情况下,上电极为格栅形的湿度传感器比条栅形湿度传感器输出电容值较大,灵敏度较高媸保裾ば蔚氖6却ǜ衅髁槊舳任/%豢扇苄跃埘Q胺胶比不可溶性聚酰亚胺胶更致密、更坚固,用其制作的湿度传感器的性能较好,相对湿度为%.%间进行阶跃变化时,响应时间分别为但也同时导致了工艺流程中刻蚀比较困难的问题;不论哪种机构和材料,湿滞普遍较小,说明本文所探索的工艺参数较为适当。关键词:聚酰亚胺;湿度传感器;响应时间;工艺/%,而条栅形的湿度传感器灵敏度为响应时间较短扇苄跃埘Q前肥6却ǜ衅骱筒豢扇苄跃埘Q前肥6却ǜ衅骶,,
.,甒琺琺琣,—·/%,/%.,琣,.瑃琤.
:瑆籶;兰州大学硕士学位论文甊.;
论文作者虢牡日期:泓≥原创性声明进行研究所取得的成果。学位论文中凡引用他人已经发表或未发表的本人郑重声明:本人所呈交的学位论文,是在导师的指导下独立成果、数据、观点等,均已明确注明出处。除文中已经注明引用的内容外,不包含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的科研成果。对本文的研究成果做出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本声明的法律责任由本人承担。
导师签名:毖期:。论文作者签名:本人在导师指导下所完成的论文及相关的职务作品,知识产权归属兰州大学。本人完全了解兰州大学有关保存、使用学位论文的规定,同意学校保存或向国家有关部门或机构送交论文的纸质版和电子版,允许论文被查阅和借阅;本人授权兰州大学可以将本学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索,可以采用任何复制手段保存和汇编本学位论文。本人离校后发表、使用学位论文或与该论文直接相关的学术论文或成果时,第一署名单位仍然为兰州大学。日
。人们在生活生产以及研究自然规律的时候,必须是要对外界环境有所感知,并且获取信号,但是光靠人的感觉器官是远远不够的。随着信息时代的到来,人们进入高科技领域,这使得人们对各种信号的获取更迫切,所以首先要保证获得的信号的准确性和可靠性,而传感器正是获取环境中信息的主要手段和途径。在现代化生产和自动化生产中,为了使设备能够正常工作,或以最好的状态工作以获得最佳质量的产品,这就需要传感器来控制和监测生产中的各个参数。在医疗及航天航所需要的信息,所以高灵敏度及高性能的传感器的发明使得这些领域有了突破性的进步。传感器又称为电五官,因为传感器的功能可以与人的五大器官相媲美,可以认为是人类五大器官的延伸。传感器的出现使得现代科学技术有了新的突破,进入了新的领域,在宏观上可以大到上千光年的大宇宙,在微观上可以年的天体演化。可以毫不夸张地说,现代化生产如果脱离了高性能、高稳定性的传感器,就会滞留不前,也就不会有现在的发展,更会迷失方向。到目前为止,传感器早已在各个领域都有广泛的应用,例如工业生产、海洋探测、宇宙开发、资源调查、环境保护、健康管理、文物保护、生物工程等。毫式各样的传感器。传感器测试信号时,可以不接触测试对象,也可以接触,可以用不同工作机理和物理效应的材料来制作不同功能的传感器。传感器按照其用途感器、磁敏传感器、速度传感器、射线辐射传感器、位置传感器、生物传感器、空领域,传感器也是有很大的用途。许多科学研究上有障碍主要是由于很难获得的粒子世界,从时间上可以观察到短乃布浞从Γご锸不夸张的说,从一个复杂工程项目,到浩瀚的海洋甚至到茫茫太空,都离不开各的不同可分类为:压力传感器、湿敏传感器、振动传感器、气敏传感器、热敏传兰州人学硕上学位论文
液面传感器、加速度传感器、能耗传感器、真空度传感器等。但是到目前为止湿度传感器的设计、生产以及应用相对于其它传感器还是较为落后,