文档介绍：�万方数据
t����������々⋯�”’’⋯⋯~掺氮对类金刚石薄膜场发射的影响电子与信息学报胡技陵⋯⋯�泄�蒲г喊不展庋Ь�芸ā篖械研究所合肥����23��1�������������������������(DLc)��������������������������������������������������������������������r����������������������������������������������������������������不高,已成为影响这些薄膜作为阴极用于半扳显示器件的关键。这使得人们去努力探索解麂这些问题的途径。,掺氮的类金刚石薄膜有较好的场发射特性,并对它的场发射机理进行了初步的探讨.����������������������������KrF����������������������������������������������温下制酱�嘟鸶帐�∧ぃ�粱�夷谡婵斩任���������������������������������5Pa����������������������������������������������率,在沉积过程中,在衬底与碳靶之间加上了��/���射线衍射仪,喇曼光谱仪和扫描电镜观察了掺氮和未掺***类金刚石薄膜的敞结构和把掺氮和未掺氮类金刚石薄膜分别作为阴撇,镀透明导电薄膜���的玻璃作为阳捉,采����}����������������������������������������3����������������1340(��11l��1��l��1����������������������������D����G���������������������ⅰ疌���等人报道的类金刚石薄膜的喇曼光谱线型相同吲,从而可确定该薄膜为类金刚����������������0�癿至��大小不一的不规则球彤组成,������������+(����������������������”�V莺娇展芾硌г褐V����1����随着平板显示技术的不断发展,寻投薄膜材料作为好的冷阴极的工作已成为人们关注的2�������。.采用同样的方法,在沉积过程中通表面彤貌。�湎哐苌涿挥邢允境鲇腥魏翁挤褰峁梗�,圈�����������������������4p����24^^m����������������������������8������������������������旃�巷节�朝-����张兰姚宁。世兆瑛‘王小正¨������4����’�V菥叛�锢砉こ萄г捍�����摘要������������������������������������������������������������x��������������������������扫描电髓观察丁撂***,掺***降低丁类蛊刚石薄膜的闽值电场,、娄盒刚石薄膜,场发射中图号��7c