文档介绍：学位论文作者签名:/参宏多吃/月乡日使用授权声明四川师范大学学位论文独创性及签字日期:山赫么日墨星洼签字日期:幽,本人声明:所呈交学位论文,是本人在导师一指导下,独立进行研究工作所取得的成果。除文中已经注明引用的内容外,本论文不含任何其他个人或集体已经发表或撰写过的作品或成果。对本文的研究做出重要贡献的个人和集体,均已在文中以明确方式标明。本人承诺:已提交的学位论文电子版与论文纸本的内容一致。如因不符而引起的学术声誉上的损失由本人自负。本人同意所撰写学位论文的使用授权遵照学校的管理规定:学校作为申请学位的条件之一,学位论文著作权拥有者须授权所在大学拥有学位论文的部分使用权,即:已获学位的研究生必须按学校规定提交印刷版和电子版学位论文,可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索;为教学和科研目的,学校可以将公开的学位论文或解密后的学位论文作为资料在图书馆、资料室等场所或在校园网上供校内师生阅读、浏览。本人授权中国科学技术信息研究所将本学位论文收录到《中国学位论文全文数据库》,并通过网络向社会公众提供信息服务。C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄊ导师签名:
『新型压电微驱动器在光学微机电系统中的应用研究光学专业研究生李宏系数解析公式。其中用于计算单层聚焦结构及单层弯曲聚焦结构的弯曲弹性系指导教师吴星涛摘要:随着⒒缦低技术的高速发展,器件对驱动器材料的结构和性能有着越来越高的要求。压电驱动器由于体积小、速度快、能量密度高等优点在光学微机电系统领域已经越来越受到重视。所以,对压电驱动器的优化设计以及应用研究对的发展具有重要的实际意义。本课题主要通过优化压电驱动器的几何结构以增强其驱动品质。提出了计算优化结构的弯曲刚度及驱动力的解析方法;采用有限元模拟方法,验证了该解析方法的有效性及优化结构的优良特性。此外,:杓瞥觥傲ρЬ劢剐及“弯曲一力学聚焦型哿菏窖沟缜鳎采用欧拉一伯努利理论,分别推导出计算聚焦结构和弯曲一聚焦结构的弯曲弹性数公式同样可以用于计算其它类似结构。通过解析计算方法和有限元方法,比较了两种驱动结构的特点。研究表明,在相同驱动器尺寸及相同外加电压条件下,弯曲聚焦型驱动器与聚焦结构相比,在牺牲了一定驱动力情况下产生了更高的位移。通过有限元分析方法,证明了计算弯曲弹性系数方法的有效性以及优化结构的驱动特性。,并与锆钛酸铅髯髁吮冉稀Q芯勘砻鳎诰哂型样几何结构和大小的前提下,甈魑灰聘哂诤笳呤叮σ裁摘要
变形镜的可行性。分析了微变形镜的位移迁移率。证明了聚焦型驱动器与简单关键词:微机电系统压电驱动器微变形镜层状光栅干涉仪显提高,表现出更好的驱动性能。魑K杓魄髟诠庋⒒缦低持械挠τ茫芯苛司哂辛ρЬ劢机制的单层压电片驱动器用于自适应光学系统虺艫珹悬臂梁驱动器相比具有更高的驱动效率。杓瞥霾捎肞—弯曲一力学聚焦型驱动器的层状光栅干涉仪。在尺寸下,设计了干涉仪的具体结构参数;研究了在该驱动器驱动下层状光栅干涉仪的分辨率。通过有限元仿真,证明了所设计层状光栅干涉仪具有结构紧凑,分辨率高的特点。摘要.
⋯.是篛篧:瓵;甅“..瑃ぁ··..:,甌琽,琽▲●■·.●’●
.【猣—:·,.,;籔;;‘...,●
微光机电系统的应用⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..第一章绪论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⒎瓷渚怠.⑿透缮嬉恰驱动器⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯压电驱动器分类⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯第二章驱动器优化设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..力学聚焦型驱动器结构设计⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.呕杓聘拍睢目录.
本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..⑶Ψ治觥驱动器连接后位移分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.ゾР牧嫌糜谇髦械难芯俊本章小结⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..第三章基于衲ね淝鞯淖允视庋⒈湫尉档纳杓蒲芯俊引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯..自适应光学中的可变形反射镜⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯.聚焦型驱动器驱动微变形镜的分析