文档介绍：一⑧论文作者签名:指导教师签名奎迭嗑扛俺嫘驮和劣嫜逞赵丛熬援丽呓煌ㄌ茫塞麴援т滞跣┨王壬浙江太堂值丕生鹪浙江太堂塞太虫驹浙江太堂蓥雁驹浙江太堂金位独浙江太堂论文评阅人评阅人答辩委员会主席:委员
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学位论文作者签名:毒舍签字日期:Α文瓿г拢签字日期纠月浙江大学博士学位论文独创性声明学位论文版权使用授权书研究成果,也不包含为获得浙江太堂或其他教育机构的学位或证书而使用过的材本学位论文作者完全了解浙江太堂有权保留并向国家有关部门或机构送交本论文的复印件和磁盘,允许论文被查阅和借阅。本人授权浙壅太堂可以将学位论本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作及取得的研究成果。除了文中特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含其他人已经发表或撰写过的料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示谢意。文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索和传播,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。导师签
致谢时光如梭,岁月荏苒,六年的科研生活让一个二十出头行事莽撞的小伙子成长到如今已年近三十的博士。值此论文完成之际,感谢我的导师王跃林教授和金仲和教授,他们不但给我创造了非常优越的科研条件,而且给予了我很大的信任,使我掌握了很多做科研的工作方法,这将使我受益终身。特别感谢金仲和教授这六年来在科研上给予我倾心的指导,在生活上给予的无微不至的关心,金教授渊博的学识、勤奋的工作态度以及严以律己、宽以待人、为人师表的崇高风范,,无论我以后从事什么工作这都将是我人生中最为宝贵的财富。在此还要感谢实验室的丁纯老师、马慧莲老师、骆温明老师、周柯江老师、徐扬老师、王慧泉老师、王昊老师、吴昌聚老师等在工作及生活上给予的关怀,尤其是徐杨老师不厌其烦的帮我修改文章,使我积累了很多撰写科研文章的经验。感谢实验室的同学们在我这六年读博生活中给予的认同与关怀,因为有了你们才让我在这几年并未感到孤单,,感谢已经毕业的我的师兄郑旭东,同学毛慧、任阳、林伟俊、张大茂、鲍慧强、彭博、张斌、俞旭辉、张顾洪、胡世昌、徐兆斌、杨伟君,朱辉杰、赵科,魏华锋、阮晔峰,游侠飞、郭振东、马铭骏、陈振等,感谢我的师妹陈妍、申越、姚灵芝等,相信我们的感情常在,也深深的祝福大家能够一切感谢在浙江大学读博这六年间学校研究生院尤其是研究生工作部的老师们给我的帮助和指导,感谢这六年里我认识的所有兄弟姐妹们,是你们让我知道自己不是一个人在战斗,、熊斌老师、杨恒老师提供的指导和帮助,以及夏炜锋、赵嵘、吴斌彬、徐肖雁、,,没有给我任何的压力,总是给我最大的信任支持以及世间最无私的关爱,你们是我人生最大张霞、杨志怀、史元、赵翔字、曹学成、罗斯建、梁秋芳、孙艳,感谢我的师弟高海源、顺利。.
浙江大学博士学位论文
摘要纳机电谐振器的应用十分广泛,有关其驱动检测和加工工艺及其随着特征尺寸进一步减小以至接近量子极限而进行的研究已成为该领域的热点之一。随着纳机电谐振器的进一步发展,其特征尺寸在由纳米梁减小到纳米线时会导致目前应用的驱动检测方法遇到了困难,而基于场效应检测的方法不以谐振器尺寸的减小而改变,是一种新型有效的针对硅纳米线振动进行检测的方法。在该方法中的沟道会受到机械应力尤其是大的弯曲变形时出现的队αΦ韧獠炕肪秤跋欤虼关于应力等对纳米薄膜特性影响的研究就十分必要。现有的硅纳米线的制作方法存在工艺复杂或者成本昂贵等问题,发展新的工艺简单、尺寸易于控制的硅纳米线进一步减小以及发展高精度传感器的需要,其检测位移的变化量已接近由海森堡测不准原理所决定的量子极限,而研究如何利用量子压缩效应来减小纳机电谐振器尤其是纳米甅腘骷⒒诖搜芯苛嘶涤ατ绕涫荊级大应力等对纳米件进行了与沟道方向平行和垂直时的定量机械应力,洞笥ασ约傲憾狭讯阅擅妆膜特性的影响。研究发现由于作为沟道的纳米薄膜中寄生电阻的影响导致论文中测出的沟道等效