文档介绍：国∥.东���博士学位论文々业技术聊务——盟窒璺拙论史题日:氧化镓粉末和薄膜的制备、结构和特性研究崮避地挝垫控堡盏韭呈咀化�嬷荩�作首姓名々业甫导教蜥姓�褙船:牛讣娄���呼�轍����������������
摘要和紫外探铡器等领域,并且还可作为环保新材料应用于环境保护。另外,由于其��是一种十分优异的宽带隙Ⅱ�甐族化台物半导体材料,是当前世界上最为先进的半导体材料之一,被称为第三代半导体材料。在室温下,由于��慕�带宽度为���,因此其广泛的应用于高亮度蓝、绿光发光二极管、蓝光激光器具有高的热传导率和低辐射性,因此��箍捎τ糜诖蠊β屎透呶碌缱悠骷�S�于��牧暇哂腥绱硕嗟挠τ们绷Γ�虼硕嗄昀慈嗣蔷合喽設�材料的制各技术和特性进行研究,从而发展起多种制各技术,主要有***化物气相外延、分子束外延、金属有机物化学气相淀积等。虽然��∧さ闹聘骷际鹾芏啵��V票赋�具有实际应用的、高质量的��∧と慈匀皇前谠诳蒲泄ぷ髡呙媲暗囊桓鲋匾?�题。这主要是因为当��诔牡咨仙�な保�捎谠诰Ц癯J�肴扰蛘拖凳�椒矫�存在失配�佣���蟮娜毕菝芏������,导致器件发光效率降低和寿命变短。因此在��ゾ�仙���同质外延成为一种发展趋势。一般把升华法和高压溶液法认为是合成���宓挠行Х椒ǎ��钦庑┓椒ㄒG蟾咧柿亢偷ハ嗟���凼�醋魑G疤宀牧稀R虼酥苯雍铣筛咧柿康腉�粉末是当前国际上一项重要研究课题。��牧系奈榷ㄐ远云湓谑导视τ弥械氖倜�托��有着极其重要的影响,因此系统地研究��牧衔榷ㄐ允窍嗟庇幸庖宓摹�在论文中,以高纯�狦������%�蜃灾频腉��粉来为镓源,以�����%�5T矗�顾�窃贗..���.�疩�型高温扩散炉中离温氦化���获得��勰�=�灾频腉�粉末制成靶作为源材料,采用����型射频磁控溅射仪在����褪�⒊牡咨系砘鼼�薄膜。所用的射频频率为�.����系统的基础真空为��。���ι涔β饰���=ι淦�迨褂肁�蚇�幕旌����,其中氮分压为���,溅射时间为�分钟。为了进一步改进��∧さ慕峋е柿浚��票负玫腉�薄膜样品置于石英舟上在高温扩散炉中氮化。�.��サ牧鞫�氮气�种樱�缓笸ㄈ氲F���。当氮化完成后,使样品在氮气保护下冷却到室温。最后将石英舟拉出炉管。氮化温度控制在��妗��。����、���,�
乎保持不变。通过��枷窈拖嘤Φ难∏�缱油枷癖砻饔酶梅椒ê铣傻腉�粉此该反应为非自发反应。。当系统的要条件。在利用���票窯�粉末时,��勰┑纳�せ�朴肷鲜錾�せ��氮化时间一般为�分钟。由�瓽��和流动的��从χ票窯�粉末的最佳条件是在���路从����Q芯糠⑾郑�钡;�露仍��~���段�冢�孀盼露鹊脑黾友�分兴�含��某煞衷嚼丛蕉唷T诘;�露任���时制备的��橇�窍诵靠蠼峁��蚦分别为�����.��。虽然没有进行有意掺杂,但��粉末中含有氧和碳在所难免。因此在测量其表面组分时,可以发现氧和碳的存在,但其所含有的氧是化学吸附氧。��勰┑姆⒐馐且岳豆夥⒐馕V鳎�梅⒐庥氲�子在��星橙毕菽芗吨�涞脑厩ㄏ嗔O怠T诙訥�粉末的表面形貌进行表征时发现,随氮化温度的增加,样品颗粒的形状发生明显的变化,并且晶粒大小几末是单晶、棒状的颗粒,其粒径约为����由���土鞫�腘�制备��勰┯胗�.���蚇�反应获得的��粉末的最佳条件、样品的结构、表面组分和发光特性几乎是完全一样的。我们首次发现,在由���;�狦�的过程中,���紫茸;���瓽��,然后����再与��⑸�从ΑA硗猓�覵�图像中知,由氮化���竦玫腉���勰┥�せ��研究中发现,����和��从ψ杂赡芴�诹悖��湿度超过���保琋�逐步分解为��琋���琋。�和�5毕低澄露瘸�过���保瓽��首先被�还原为极不稳定的��,然后��中�。逐渐被���娲��纬蒅�。。这是微品材料生长的必略有不同,即������变成�狦��。虽然��娜任榷ㄐ院突�滴榷ㄐ杂跋熳牌骷�氖倜�头⒐庑阅埽��壳岸���榷ㄐ缘难芯亢苌伲�绕涠苑阈滴榷ㄐ缘难芯恐两衩挥屑�较喙乇ǖ馈���勰┰诟哂���的空气中是不稳定的。研究发现,��帕1砻嬖������之间形成致密的���悖�佣�柚笹�颗粒被进一步氧化。在������之间,样品处于相对稳定阶段。随着温度增加到���,致密的���阍�也不能阻挡��帕5慕�徊窖趸�5蔽露却锏����保珿�粉末被全部氧化玎
属�和�。由于金属�的沸点高达����陨希�虼嗽诤艹ひ欢挝露确段��研究发现:当样品被高速球磨时,��勰┯際�反应生成���H绻�笹��在�气氛下退火,其将失去结晶水变为���