文档介绍：,对多晶硅纯度的要求越来越高。多晶硅的质量好坏,直接关系到晶体管的合格率,电学性能以及太阳能电池转换效率的高低。提高多晶硅产品质量的措施:,搞好工艺卫生。树立“超纯”观念,养成严格的工艺卫生操作习惯(操作环境最好有洁净室)(,)(一滴油中含碳量为:),,,可见杂质对多晶硅质量的影响较大。(cleanroom)又称无尘室或净化间。是指不论室外空气条件如何变化,仍能使室内空气中微尘粒子,有害气体,细菌等污染物排除,并且室内温度,湿度,洁净度,空气压力,气流分布,气流速度,噪声,震动,照明,静电等特性能控制在某一特定需求范围内。因此,洁净室必须具备以下功能:,,(废气),,节能措施洁净室工作原理:通过空气处理装置,将空气流送入管道,并通过空气过滤装置,将洁净的空气送入室内,同时通过工艺排风将室内空气送回空气处理装置或室外,(美国联邦标准-FS209标准),此后不断修改标准,同时世界上几个主要的国家根据自己的需要,分别制定了自己的洁净标准。现在国际上采用的ISO洁净室等级的划分标准是由全球各国际标准化团体联合会编制的(ISO-14644AirCleanliness).有8个部分组成(洁净室等级的划分,洁净室的测试方法,洁净室的设计与施工,洁净室的运行,定义及单位,微环境与隔离等)。我们重点了解洁净室等级的划分(ISO14664-1AirCleanliness)洁净室等级划分空气洁净等级(N)国际(ISO-14644-1AilCleanliness)洁净室标准美国(FS-209D)标准中国GB50073-2001标准大于或等于表中粒径的最大浓度值|(个|立方米)Ft为英尺1ft=12英寸1ft==|立方英尺个|**********ISOClass5十万2370010200352083229100ISOClass6一百万2370001020003520083202931000ISOClass735200083200293010000ISOClass8352000083200029300100000ISOClass9352000008320000293000洁净度谈到净化厂房的洁净度时,可以举“在太平洋中游弋的一条鱼”的例子来比喻“浮游在空气中的灰尘微粒”,目的是让大家亲身感觉到半导体洁净室方面的那种极其洁净的程度。我们以ISO1级的洁净度为例。<10个;×1/10(21次方)、平均深度为4282m、体积为70700万km3。如果与ISO1级相同的粒子比例进行换算,×10(-21次方),。把一个立方米的空间,等比例放大到象太平洋这样巨大的空间,经过超高效过滤器的过滤,(微粒)全部被过滤掉了;只有比它小的鱼(微粒)还存在“太平洋中游弋的一条鱼”是一种什么样的感觉了吧个行业洁净标准半导体行业(CSMC)个行业洁净标准多晶硅生产由于多晶硅生产目前还处在发展阶段,企业对洁净生产的认识随着太阳能级多晶硅厂商对产品质量的不断提升和行业标准的修订越来越明朗化。例如******硅业(改良西门子法)。洁净室主要集中在以下几个部分:1.