文档介绍：摘要的意义。本论文研究了一种电磁式振动环微陀螺仪的结构设计与工艺实现。关键字:微机械陀螺仪,效应,结构设计,、易量产、成本低等特点,在汽车导航等民用领域以及惯性制导等军事用途中应用广泛。微机械陀螺仪的芯片加工是其核心,因此研究陀螺仪的芯片设计和加工工艺具有非常重要首先分析了电磁式陀螺仪的工作原理,提出电磁式振动环微机械陀螺仪的具体结构形式。通过有限元方法对陀螺仪进行了模态分析、抗高过载分析、电刚度分析、效应分析,确定了其结构参数。然后介绍了陀螺仪加工所涉及的主要工艺,并对加工流程和工艺进行研究,设计了整套加工流程并确定了工艺参数。最后对陀螺仪芯片进行了性能测试。这些研究成果为电磁式振动环微机械陀螺仪芯片的完善提供了一些设计和加工经验。、、甀,甋’’甌,.’..珻,
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摘要的意义。本论文研究了一种电磁式振动环微陀螺仪的结构设计与工艺实现。关键字:微机械陀螺仪,效应,结构设计,、易量产、成本低等特点,在汽车导航等民用领域以及惯性制导等军事用途中应用广泛。微机械陀螺仪的芯片加工是其核心,因此研究陀螺仪的芯片设计和加工工艺具有非常重要首先分析了电磁式陀螺仪的工作原理,提出电磁式振动环微机械陀螺仪的具体结构形式。通过有限元方法对陀螺仪进行了模态分析、抗高过载分析、电刚度分析、效应分析,确定了其结构参数。然后介绍了陀螺仪加工所涉及的主要工艺,并对加工流程和工艺进行研究,设计了整套加工流程并确定了工艺参数。最后对陀螺仪芯片进行了性能测试。这些研究成果为电磁式振动环微机械陀螺仪芯片的完善提供了一些设计和加工经验。.瓼、华北电力大学硕士学位论文甀甋,’’甌,.,
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期:血日期:一眯日期:匹刻关于学位论文使用授权的说明声明尸本人郑重声明:此处所提交的硕士学位论文《电磁式微机械陀螺仪结构下进行的研究工作和取得的研究戚果。据本人所知,除了文中特别加以标注和致谢之处外,论文中不包含其他入已经发表或撰写过的研究成果,也不包含为获得华北电力大学或其他教育机构的学位或证书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中作了明确的说明并表示了落意。学位论文作者签名:本入完全了解华:电力大学有关保留、使用学位论文的规定,即:①学校有权保管、并向有关部门送交学位论文的原件与复印件;②学校可以采用影印、缩印或其它复制手段复制并保存学位论文;③学校可允许学位论文被查阅或借阅;④学校可以学术交流为露的,复利赠送和交换学位论文;⑤同意学校可以用不同方式在不同媒体上发表、传播学位论文的全部或部分内容。婷艿难宦畚脑诮饷芎笞袷卮斯娑作者签名:导师签名:设计与工艺研究》,是本人在华北电力大学攻读硕士学位期间,在导师指导
第一章绪论选题意义传统机械手段加工,虽然精度高,但成本较高而且体积较大。随着微电子机械微系统技术的发展,微机械陀螺仪【坑υ硕U庵滞勇菀遣在国外,微机械陀螺的研究已经有近年的历史,其研究从开始的种类单一且测量精度低发展到今天种类较多且测量精度较高的阶段。并且近几国内外发展动态多年来,硅微机械陀螺的研究发展迅速。微机械陀螺按结构可分为微型石英音叉式陀螺【渴堑湫偷恼穸勇萁峁图U庵滞勇萦闪个连接到一个基轴上的音叉组成,石英音叉在外加交变电场作用下,由于逆这时输入沿基轴方向的角速度,每个音叉上产生与驱动方向垂直的哥氏加速度,并引起该方向的振动。该加速度形成的力与旋转输入角速度成正比,且陀螺仪是一种可用于测量物体运动角速度的传感器。传统的陀螺仪采用用与工艺相似的眨墒迪制骷呐可哂刑寤⒊本低、功耗小等特点。在汽车、导航等民用领域以及惯性制导等军事用途中应用广泛。年已经见到微机械陀螺仪量产的报道。而在我国,微机械陀螺仪还停留在实验室研究阶段,尚无可靠的产品问世。随着微机械陀螺技术在各领域的广泛应用,实现我国自有知识产权的微机械陀螺势在必行。本课题旨在研究一种电磁式微机械陀螺,将重点讨论这种微机械陀螺的结构设计与工艺。这种陀螺的核心器件采用砑杓疲缓笥艺进行加工。通过这种手段制造的陀螺具有抗高过载能力、并且可大规模生产。这种陀螺仪可用于汽车导航等民用领域和炮弹制导等军事用途。框架式陀螺仪、振动音叉式陀螺仪、梳齿状陀螺仪、振动轮式陀螺仪、振动环式陀螺仪。它们的工作原理都是利用效应实现角速度的检测。压电效应而受到压力的作用。两个音叉受到驱动后以固定的幅度进行振动,可从音叉叉指的弯曲或基轴的扭转振动中检测出来。音叉式陀螺仪采用石英材料,但是这种材料加工困难,且驱动和检测线路间的杂散电容耦合问题严重。华北电力大学硕士学位论文
年美国实验室制造出第