文档介绍：年第卷第期化工生产与技术
201011 17 6 1Chemical Production and Technology ·1·
!
" !!!!!!"
氟化工
" !
! !!!!! "
含氟特种气体及电子化学品市场与竞争力分析(待续)
陈鸿昌
(全国无机氟化物协会,天津 300131)
摘要介绍了属于高端无机氟精细品的部分含氟特种气体及电子化学品氟气、六氟化硫、
六氟化钨和五氟化碘等,这些产品大多用于电子、新材料、航空航天等高新领域,普遍具有
技术含量、产品附加值较高的特点,在国民经济中占有重要地位。叙述了产品性能、生产方
法、用途、国内外市场现状、生产厂家规模及分布等。
关键词含氟特种气体;含氟电子化学品;高端;竞争力
中图分类号文献标识码 C DOI .1006-
较长时间以来人们对我国的氟化工应该朝哪用来进行选择性氟化氟气的溶解性差反应一般
, 。,
个方向走不断地提出问题也发表了众多的观点大在气液两相表面进行又因反应放热所以在反应表
, , ; ,
多数人认为是要向国外看齐要加快结构调整加强面极易形成热点加速副反应的进行为减少副反应
, 、。,
研发引进人才等等实际上尽管差距不小氟化工通常用惰性气体如氮气或氩气来稀释氟气以使
、。, ( ) ,
还是正在向精细高端优质并具有高附加值方向发氟化反应容易控制且提高氟化选择性这种稀释氟
、、。
展着气商业化以后氟气在氟化合成中的应用逐渐得以
。,
含氟特种气体可分为元素氟氟气六氟化硫推广
( )、。
六氟化钨及其他含氟特种气体我国含理化性质
(SF6)、(WF6) 。
氟特种气体已有十几个品种其中产量最大的为氟气常温下为淡黄色气体有强烈的刺激性气
, ,
其他已工业化的产品有纯氟气氟氮混合气四味该气体在冷却到压缩到条件下
SF6, 、、, 144 K、 MPa
氟化碳三氟化氮等电子工业气体主要即可成为浅黄色桔红色液体氟气是强氧化剂与
(CF4)、(NF3) 。- 。,
用于薄膜沉积如化学气相沉积或物理气相金属单质盐类氧化物的反应大多比较激烈其中
, (CVD) 、、,
沉积这些技术主要用来制造半导体或光伏碱金属碱土金属一旦碰着氟气就会自燃氟气几
(PVD), 、。
电池乎可以和所有的有机物反应生成氟碳化合物和氟
。,
电子化学品主要包括集成电路和分立器件用化化氢醇酸醛和胺与氟气反应也很剧烈且与有机
, 、、,
学品印制电路板配套用化学品表面组装用化学品物作用时通常伴有着火燃烧或猛烈爆炸由于氟气
、、。
和显示器件用化学品等集成电路用电子化学品包进行反应时放出大量的热有机物分子结构遭到破
。,
括类关键产品最重要的一部分是超净高纯试剂坏为使反应缓和一般用大量惰性气体如氮气加
4 , 。, , ( )
超净高纯试剂主要是氢氟酸氟氢化钾以稀释降低反应温度或加入分散得很细
(HF)、, (<78 ℃),
氟化钾氟氢化铵及各种含的金属填料以利于散热干燥的玻璃与干燥的氟气
(KHF2)、(KF)、(NH4HF2) 。
氟无机盐的超净