文档介绍：万方数据
含氟特种气体及电子化学品市场与竞争力分析陈鸿昌甑淼期化工生产与技术ü藁镄幔旖基本物性三氟化氮熔点一℃,沸点一,沸点时液体的相对密度是三卤化氮中最稳定的一种。但和水、氢气、氨气、一氧化碳或硫化氢等的混合气体遇火花即发生猛烈的爆炸。,的反应性与氟相似,具有在等离子条件下释放氟气的能力,常温下具有化学惰性,而在高温下可作氧化剂。比氧气更具活性但比氟要稳定得多,且易于处理。高纯,几乎没有气味,它是一种热力学稳定的氧化剂。大约在孀笥铱煞纸獬晌6化氮和氟气。在高温下能与许多元素反应。生成四氟化二氮和相应的氟化物。勺魑S卫牖墓给源。虽然由呼吸道吸人崾谷酥卸荆挥化学致变活性。日本一家单位通过老鼠淋巴细胞培养体系等实验,就致变活性上证明了对用户的安全性。用途,是一种强氧化剂,高温下产生氟原子,可用于火箭推进剂的氧化剂。,用作氧化剂时,在发生反应的同时。可作为二氟化氮游离基的供给源。,可用作高能化学激光器的氟源。前氲继逵胍壕允酒产业制造过程中必备的材料,主要分为电子级和半导体级郑属于电子工业用的特种气体。作为半导体工业中气体清洗剂的全氟烃曰肪秤泻Γ昀从兄渐被,取代之势。使用比何榷ㄇ乙子诖碜魑淝逑醇痢S隤相比,可减少污染物排放量约%,且可显著提高清洗速度,从而可提高清洗设备能力约%。比稳定且易于处理还可用作蚀刻剂,也用于募庸ぁ,也是微电子工业中一种优良的等离子蚀刻气体,对硅和氮化硅蚀刻,采用菴和氧气的混合气体有更高的蚀刻速率和选择性,而且对表面无污染,尤其是在厚度小于“募傻路材料的蚀刻中,哂蟹浅S帕嫉氖纯趟俾屎选择性,在被蚀刻物表面不留任何残留物质,同时也是非常良好的清洗剂。生产工艺,的生产方法主要有帧7被戏ê偷化学法。氟氨化合法。先制取元素氟,氟气与氨或熔融氟化铵在一定的温度和压力下反应制备倬冷凝、蒸发、纯化得到纯度%以上的产品。,还可作为氨的传递介质,对反应有利。此工艺又可细化为致废撸悍氚逼苯化合法。氟化铵熔盐直接氟化法。氟气与氟化铵的气固相氟化法。电化学法。用碳电极在℃的条件下,对和等的复合电解质进行电解制取,,是工业上较多采用的方法。在电解槽中电解熔融的氟化氢铵艏也谏摘要介绍了属于高端无机氟精细品的部分舍氟特种气体及电子化学品三氟化氮、五氟化磷、六氟磷酸锂等,这些产品大多用于电子、新材料、航空航天等高新领域。普遍具有技术含量、。叙述了产品性能、生产方法、用途、国内外市场现状、生产厂家规模及分布等。结合这些产品在我国的地位,进行了竞争力分析,提出了今后发展的前景和需要重视、注意之处。关键词舍氟特种气体;含氟电子化学品;高端;竞争力中图分类号文献标识码·./甶收稿日期:—
万方数据
已列入温室效应气体目录中,被限制使用,而,暂装技术。在集成电路清洗剂市场占有较大的市场份陈鸿昌含氟特种气体及电子化学品市场与竞争力分析氟化工升或扩散过程中与融盐中的铵离子反应生成阴极室产生氢气。、氧、一氧化碳、二氧化碳、氧化亚氮、二氟肼、四氟肼、、氟气、及水等,需要进行纯化。可以采用高纯原料进行电解,但成本太高:要对电解制取的氟气先进行脱恚庋圆返暮笃诖能较容易一点。工业上的纯化方法有低温精馏法、共沸精馏法、化学转化法和选择吸附法。将不同的方法组合进行