文档介绍：一、分子系的内部结构                           -圈       -圈           -圈          -圈                 -圈 59螺帽           、分子泵的清洗: 一般来讲,如果说前级泵没有问题,而真空在规定的时间内没有达到规定的真空值或者有漏气(排除其它的漏气)、或着解吸附作用降低,说明真空泵有点脏了,需要进行清洗,这时不用进行拆卸就可以直接进行清洗,如果太脏的话,就必须进行拆卸清理了。直接清洗的方法如下:,进行排气。,注意不要碰到接口的边缘部分。、加热器(如果有的话)。,高度以前级真空接口略低为宜,如下图。 ,便于分子泵的定子和转子的叶片清洗,在无水酒精中浸泡大概5~10分钟。,加入新的无水酒精,重复前面的工作,最少要重复一次。。,从垂直慢慢放倒到180度,以便排除磁性轴承中的酒精。,然后朝下放置,利用一个泵抽大概30分钟左右。注意接口的密封表面不要损坏。,不要开分子泵,利用前级泵抽真空,达到大概10E-1左右,以便完全清除分子泵中残留的无水酒精。,接上分子泵开始工作。注意第一次抽真空时是比较慢,这是因为分子泵中有残留的酒精,属于正常情况,不必忧虑。三、驱动马达的检查驱动马达的检查可以用两种方法,一个是带带驱动单元TCP时用示波器看波形。一个是不带驱动器检查线路。带驱动单元TCP的方法操作,这里要注意一点,就是探针式的霍尔传感器是没有0电位的,所以在用示波器的时候将0V线拔掉。切记不要同时查看B1-B4、B2-B3的波形。下面是在全速旋转时检测到B1-B4或B2-B3波形。    在不带驱动单元的检测方法,这个办法主要是检测、测室外部的接线和内部的适配器。检查的时候请参考下图: 图中的标号在外部表现的颜色为: 在霍尔元件的G、F之间加上一个40MA的恒定电流,在B1-B4或B2-B3之间接入示波器或万用表。然后用手转动分子泵。如果正常的话,测室出来的电压的极性每周会变化一次。 四、更换轴承在分子泵中最容易损坏的就是轴承了,所以更换轴承是一个主要的工作。更换轴承需要爱一个干净的环境中更换,我们一般更换的是马达这边的轴承。更换轴承需要一些特殊的专用工具。值得注意的是,在每次更换轴承的时候,油包也一定要更换。下面的图是一些专用工具(真实自己可以加工的)。图中A是中心铀,B和D都是校准用的工具,是调节间隙和位置用的。C是马达的拔除器。抄写的分解图如下: ,拆下盖子80,并用两个螺丝刀取出油包82,如下图:   ,拿出72和73两个密封圈。