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硕士学位论文
有机电致发光器件及有机发光显示屏的研究
作者:鲁少昕
导师:刘式墉教授
专业:微电子学与固体电子学
吉林大学
二零零二
年五月
提要
利用多源有机分子气相沉积系统,采用红光搀杂材料 DCJTB 制备了结构
为 ITO/NPB/(ALq3:DCJTB)/LiF/Al 的普通双层结构的红光器件,与之进行对
比,应用空穴阻挡层材料 BCP 制备了结构为 ITO/NPB/(ALq3:DCJTB)
/BCP/ALQ3/LiF/Al 的双异质结结构的红光器件。发现双异质结结构可以使器
件的发光效率明显提高。研究了此结构中搀杂层厚度对器件效率的影响。
采用阴极隔离柱的方法来制作高分辨率的无源矩阵单色有机电致发光显
示屏。我们自行设计了三种采用国产光刻胶制备阴极隔离柱的方案,三种方
法均可实现对像素和金属电极的隔离。成功地制备了象素 96?64,6 条线/毫
米的无源矩阵单色有机发光显示屏。
在无源矩阵彩色有机发光显示屏的制备中,采用 Shadow Mask 移动的方
法来替代传统的换板方法来制备有机物 R、G、B 三基色亚像素点阵。制成
了 32?3?64,3 条线/毫米的无源矩阵彩色有机发光显示屏。
目录
第一章综述⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 1
§ 有机电致发光器件研究的进展⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 2
§ 有机/聚合物材料的导电性及荧光过程⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 4
有机/聚合物材料的导电性⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 5
有机/聚合物材料的发光过程⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 6
§ 有机电致发光器件的结构⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 7
§ 有机电致发光器件的发光机理和性能参数⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 9
有机电致发光器件的发光机理和载流子注入传输特性⋯⋯⋯⋯ 9
有机电致发光器件性能的主要参数⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 11
§ 有机电致发光器件的产业化进展⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯
14
§ 本论文的主要内容⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 16
参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 17
第二章双异质结结构对红光电致发光器件效率的影响⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 19
§ 引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 19
§ 所用有机材料及器件制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 20
所用的有机材料⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 20
器件的制备⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 21
§ 器件的特性分析⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 21
§ 结论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 28
参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 29
第三章阴极隔离柱技术制作无源单色有机发光显示屏⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 30
§ 引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 30
§ 无源矩阵有机电致发光显示屏的制作工艺⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 31
§ 采用光刻胶制作阴极隔离柱制备无源单色有机发光显示屏⋯ 33
§ 结论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 39
参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 40
第四章掩模板移动法制作无源矩阵彩色有机发光显示屏⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯
41
§ 引言⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 41
§ 掩模板移动法制作无源矩阵彩色有机发光显示屏⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 43
§ 结论⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 46
参考文献⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 47
致谢⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ 48
中文摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ⅰ
英文摘要⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯⋯ⅲ
第一章综述
以信息产业为发展核心的 21 世纪是知识经济的时代,信息的数字化和
网络化,及信息高速公路的建设已成为这个时代发展的必然要求。面对信息
量的高速膨胀式发展,大容量