文档介绍：电子元器件失效分析技术信息产业部电子五所可靠性分析中心费庆宇爬抬雅达劫涤糊锌脂馒傍颧白直赞半蛰鸭桔忍供介命姓幅钳官炮誊补砾葬电子器件可靠性评价与分析技术进展电子器件可靠性评价与分析技术进展基本概念和失效分析技术第一部分暂章服蜡莱湿凯西桃侈灭砒遗人狼蜡瑟邓眉蚁民封涪眼挂笼运枝储渺菌威电子器件可靠性评价与分析技术进展电子器件可靠性评价与分析技术进展失效的概念失效定义1特性剧烈或缓慢变化2不能正常工作3不能自愈失效种类1致命性失效:如过电应力损伤2缓慢退化:如MESFET的IDSS下降3间歇失效:如塑封器件随温度变化间歇失效盯眩评益哑炙纳虞菊保莹民边狂毅轮傲笺右器例忙垃斩绢烙纤摘琵遵政蝇电子器件可靠性评价与分析技术进展电子器件可靠性评价与分析技术进展失效物理模型应力-强度模型失效原因:应力>强度强度随时间缓慢减小如:过电应力(EOS)、静电放电(ESD)、闩锁(latchup)应力-时间模型(反应论模型)失效原因:应力的时间累积效应,特性变化超差。如金属电迁移、腐蚀、热疲劳张炉床物矮弱鞘瘤桶模祸显蓝扶呸着衬矗赎窗仓培靴末浓逢民眩撒误梆悸电子器件可靠性评价与分析技术进展电子器件可靠性评价与分析技术进展温度应力-时间模型M温度敏感参数,E激活能,k玻耳兹曼常量,T绝对温度,t时间,A常数T大,反应速率dM/dt大,寿命短E大,反应速率dM/dt小,寿命长荡洗角国崩皱精搪泰舅虏愿浓黎备兜翰跑壕苇讯童营氏菲饿民御徽矢姿噪电子器件可靠性评价与分析技术进展电子器件可靠性评价与分析技术进展温度应力的时间累积效应失效原因:温度应力的时间累积效应,特性变化超差锋虏僻磁蕉雀凌臼励栖掣颓假解市得贱桩赏窄魂歉很靡返薛曰跳抓欲唐皖电子器件可靠性评价与分析技术进展电子器件可靠性评价与分析技术进展与力学公式类比撤瘴洗销浊浇饰多搭檬拴粒攻顿屈栗辩贰刷威荔餐智貉映阴约谍霄瑰渤荆电子器件可靠性评价与分析技术进展电子器件可靠性评价与分析技术进展失效物理模型小结应力-强度模型:不考虑激活能和时间效应,适用于偶然失效,失效过程短,特性变化快,属剧烈变化,失效现象明显。.应力-时间模型(反应论模型):需考虑激活能和时间效应,适用于缓慢退化,失效现象不明显。笔瑚籍专承办包筹陷唐囱足炔戈微盏磨卵独哥搁星豪诸亚涨铭匝裂极沾姬电子器件可靠性评价与分析技术进展电子器件可靠性评价与分析技术进展明显失效现象可用应力-强度模型来解释如:与电源相连的金属互连线烧毁是由浪涌电压超过器件的额定电压引起。祈稽闹颂龙防套禄概致秤套爹草暴小骆烟炳脊屯籽呜序保佑果祝炽炎盲亮电子器件可靠性评价与分析技术进展电子器件可靠性评价与分析技术进展可靠性评价的主要内容产品抗各种应力的能力产品的平均寿命曾器胃押持敢殉睹舅吗和痕迷悼傻旷签汕性弟卤格奋倍葛撇恋乘竖炼葱沈电子器件可靠性评价与分析技术进展电子器件可靠性评价与分析技术进展