βW对CVD钨材料压缩性能的影响.pdf

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暑伊訡钨材料压缩性能的影响重,,:吕延伟,于晓东,谭成文,孙铁峰砝ニ,.—疦琓餫/.,北京摘要:采用冷甓化学气相沉积系统,利用还原ひ眨诖客鼙砻嬷聘骰竦昧烁叽课俨牧稀T。粱露认拢玫骄有混合相的钨管,其压缩性能远低于在条件下得到的只具有嗟奈俟堋S纱吮砻鳎羨的出现极大地降低了钨管的压缩性能。在条件下,对具有混合相的钨管进行;て胀嘶鸷螅俟懿牧现械摹蜗嘞В逼溲顾跣阅苡胫痪哂衋相的沉积关键词:伲幌喑煞郑谎顾跣阅埽煌嘶鸫作者简介:吕延伟,男,年生,博士生,北京理工大学材料学院,北京,:甤;通讯作者:谭成嘲甋.,.【...,.。產.。.,畐,.,,·:,,疕酰,,:酰:.:琖狪,.北京理工大学,北京态钨管相近。文,副教授,电话:,:琁..///。晶