文档介绍：虿Forpersonaluseonlyinstudyandresearch;mercialuse袈芈半导体制造技术教案袃【首页】虿课程名称艿半导体制造技术螆授课专业蚂微电子蝿班级蚀08级蒈课程编号螅9罿课程类型膇必修课薇校级公共课();基础或专业基础课();专业课(√)芃选修课薈限选课(√);任选课()肅授课方式芅课堂讲授(√);实践课(√)莃考核方式罿考试(√);考查();薇教材名称羇半导体制造技术薂作者蚂(日本):表中()选项请打“√”半导体制造技术教案周次第16周,第15次课2011年12月15日备注章节名称第四章硅片制备授课方式理论课(√);实践课();实习( )教学时数4教学目的及要求了解本征半导体的概念及特点,理解半导体结构,晶向等指标。掌握半导体制备方法,能够简述制备步骤及化学反应方程式理解单晶硅的提纯方法。理解两种制备法的区别以及各自的优点。:。难点:。。????外语要求同理论课要求教学手段方法:教师课堂讲授+教师提问互动+教师总结手段教具:多媒体、投影仪、黑板参考资料第3页以下无正文仅供个人用于学习、研究;不得用于商业用途。 толькодлялюдей,которыеиспользуютсядляобучения,исследованийинедолжныиспользоватьсявкоммерческихцелях. Forpersonaluseonlyinstudyandresearch;ürdenpersönlichenfürStudien,Forschung,zukommerzielle