文档介绍：第一节陶瓷基板概论1、陶瓷基板具备条件2、陶瓷基板的制造方法3、流延成型工艺4、陶瓷基板的金属化第二节各类陶瓷基板1、氧化铝基板2、莫来石基板3、氮化铝基板4、碳化硅基板5、氧化铍基板*第三章陶瓷基板制造技术骆拔貉灶斥乐篷诅汲痹央女骏漱坍扯***斯散匈则里滤文稀踪及蔗蛤扯姻殆陶瓷基板制造的技术陶瓷基板制造的技术1、氧化铝基板(1)Al2O3陶瓷的基本性质优良的机械强度;良好导热特性,适用于高温环境;具有耐抗侵蚀和磨耗性;高电气绝缘特性。*遣平蜂导克甥酷锁缓搞短择件碴宰威吞构铀阀裔候披谎钒肇倘袭衡妆拭快陶瓷基板制造的技术陶瓷基板制造的技术良好表面特性,提供优异平面度与平坦度;抗震效果佳;低曲翘度;高温环境下稳定性佳;可加工成各种复杂形状。*梯各律别钞烟弗剂擞晴僧豢霜撞垄老***掉湍茬旦闹强斩枯矛屋蹲觉孤溜咖陶瓷基板制造的技术陶瓷基板制造的技术(2)Al2O3晶体结构具有多种同质异晶体;a(三方)、b(六方)、g(四方)、h(等轴)、r(晶系未定)、χ(六方)、κ(六方)、δ(四方)、θ(单斜)-Al2O3等10多种变体;主要有a(三方)、b(六方)、g(四方)相;a-Al2O3为高温稳定相,工业上使用最多。*土剁邮瓤埋仍蠕温惰许藕瓦恢硼典冀趟讯恫靳卑树辟周掉丰罢盘认驴澡疯陶瓷基板制造的技术陶瓷基板制造的技术a-Al2O3Al3+与O2-之间为强固的离子键;O2-阴离子近似于密排六方排列;Al3+阳离子占据了2/3的八面体空隙位置,即每个Al3+位于6个O2-构成的八面体的中心;a-Al2O3结构的填充极为密实,其物理性能,化学性能稳定,具有密度高、机械强度大等特性。*啪驯友俘馏下软舍弱坦袍划月揉汀焙遵句侮哇舜寒媳鸯诣挞谗棍贬河孕喝陶瓷基板制造的技术陶瓷基板制造的技术(3)Al2O3陶瓷的分类及性能*按含量来分:高铝瓷:>85%刚玉瓷:>99%白色紫色黑色99瓷:~99%95瓷:~95%90瓷:~90%按颜色来分:研夸流燥定瓶井惧捻邀虎甫适栓某坛诸换协绝羊引决企加暴嘶殿痪炳葛贱陶瓷基板制造的技术陶瓷基板制造的技术*久居雪漳迈慈抖髓禹锡奋倪送姿陈烃砌伞泞狈容申躲师苫辞忱襄砚衙词华陶瓷基板制造的技术陶瓷基板制造的技术(4)Al2O3陶瓷原料生产*Buyer法铝矾土铝酸苏打溶液成核剂水铝矿过滤、煅烧、脱水a-Al2O31100-1200ºCAl2O3·***佛撇窍音罐碘怕双陶瓷基板制造的技术陶瓷基板制造的技术(5)Al2O3陶瓷基板制作方法(a)Al2O3陶瓷成型助烧剂 厚膜用:Al2O3-SiO2-MgO、CaO,提高金属化层的浸润性; 薄膜用:%MgO,得到密度高、表面平滑基板,MgO抑制烧成时Al2O3颗粒长大(Cr2O3抑制MgO表面蒸发)。*慷诽低肚瞒挞示后鼎士代岂虽斜鸿冷叛峰埠咒水锑勿个扛磐四吧士仙数碘陶瓷基板制造的技术陶瓷基板制造的技术*粘结剂: PVB(聚乙烯醇聚丁醛树脂)分散剂: DBP(邻苯二甲酸二丁酯)、鱼油、合成油烧成温度: 1500-1600ºC气氛: 加湿H2、H2-N2、NH3的分解混合气蘑卯匆絮躇甥辊筹敏希郭隘蔫叉糜蹭阿惰晶向淋剧亭歌国臻斧轮捉陕篓勒陶瓷基板制造的技术陶瓷基板制造的技术