文档介绍：加速度计与MEMS明日之星微机电系统(MEMS)在发展了近四十年后,近来因为游戏机(Wii、PS3)、手机(iPhone)、MP3(iPodtouch)等消费性电子产品的应用,终于划下时代性的一刻,成功打入产量最大的消费市场。这对于微机电产业来说无疑是值得庆贺的时刻,因为有太多的研发心力已投入这项将微机械与微电子工程融合的微机电设计诉求之上,如今总算看到令人欣慰的一些成果。当然,这仍然只是MEMS进军更广泛市场的一个开端,打开这个市场的功臣即是加速度计(accelerometer)。在本文中将会对加速度计的技术及应用有更多的着墨,在此之前,我们要先来看看MEMS的领域及发展进程。 MEMS发展历程 MEMS的研发早在1970年代初期就已展开,最早期的研究包括石英晶体谐振器(QuartzResonator)和压力传感器等,接着有打印机的喷墨头(inkjet)及气相色谱仪(gaSchromategraphy)的研究;1975年后开始进行加速度计、数字光投影机、微流体(micro-fluidics)、MEMS振荡器、MEMS开关(Switch)的研究;1985年左右开始研究MEMS麦克风;薄膜体声波谐振器(FilmBulkAcousticResonator,FBAR)和陀螺仪(Gy-roscope)则是1990年代以后才开始的新领域。 MEMS的应用领域很广,举凡需要用到微机械感测与控制的应用,都有可能导入MEMS的芯片,这些领域涵盖了信息、通讯、消费电子、汽车、医疗、工业等等各个领域。目前广泛应用MEMS芯片的应用领域是汽车电子及信息电子,在汽车的操控性及安全性方面,已采用不少的MEMS传感器和制动器,其中又以加速度计居多,例如低重力加速度计可用于电子停车制动(EPB)、安全带预紧器(Pre-tensioner)、防侧翻、汽车动态控制(VDC);中,高重力加速度计可用于悬吊系统、安全气囊;此外,MEMS陀螺仪(Gyroscope)则可用于惯性导航、防侧翻和VDC。在信息应用方面,最常见的是打印机喷墨头的运用,这仍是目前MEMS芯片最大的应用领域之一。此外,加速度计也被用于保护硬盘,当硬盘不慎掉落时,传感器会立即传出警告信息,要求马达停止转动并将磁头从盘片表面上移开,因此不会有任何部件与硬盘机内的储存媒介相互碰触,如此一来即能保护行动设备在发生意外振动或摔落时,内部所存储的数据仍能安全无虞。另一个大幅成长的芯片则是微面镜,最成功的例子是TI所研发的数字光处理(DLP)技术,目前已普遍用于投影显示器当中。加速度计的创新应用在现阶段,消费性市场最有兴趣的,还是如何导入加速度计。加速度计的应用是令人期待的,举凡需要感测由于坠落、倾斜、移动、定位、撞击或振动产生微小变化的产品,都可以导入加速度计。因此,除了上述的防撞保护外,它还能提供操控手持设备的人机接口(ManMa-chineInterface,MMI)以及许多有趣的增值功能: 创新MMI人机界面 Wii的遥控游戏功能,正是让大家印象最深刻的创新型态人机接口功能。它利用加速度计的动态感测功能来感测遥控器左,右倾斜、前/后倾斜、甚至上,下移动等动作,来转换为玩家在游戏中想操控的挥拍、击球、钓鱼、跳跃等动作,而能取代键盘以更直觉的享受到游戏的临场感,也能完成一些过去相当困难的细微操控动作。不仅如此,3轴加速度计也能