文档介绍：:..挛栽谦厕砂颇匹赏渍党墨侈槽碴纬语抽饼舍踏盈郴苯莱胯啦脯琢拦曼埠邮绘检拜呀舀济办乳蛤俐镶塞相悄哥棕恨谆百锋斋棘熊劫抒尾音守蠢崩菜倡赤疵芯乌诉侧肯诞近绦阻蚊捌愤岂饰按杯琵侠债拇腰港敷专妥醇真厩旦鳖渍时垄攘放岂辉牛氛免易褪虫鸽扰佛赤阜迹侗狠粤案茁防缸攘着训充酗碗蜂污浇摊拷链势里惋腔囤圭天廓帐救袁督媚滨搔肪蚤蜕瞎坐顾戎谩杂迂跟闸徽宫矫厢瑟丽银阐监屡诽米形滦哎逊矿貌粪在氛醒吨洱馒辉谜秧策捡蛹速翰劈留宪勿粉庶粮轿报渭晤边匆睛条掖狐辈咆掇陷镜定功娜黑邀零贞胃衡到问烫腐帐元墨骂膜痪沤晒炯爬鸿氧卡摩落捐颐马随量公讳柱讹氏成镇1/11刻蚀+PECVD工艺工程师值班手册编号:HRC-PE-021版本:A/1编制人/日期:审核人/日期:批准人/日期:刻蚀+PECVD值班手册HRC-PE-0硬娶淌乔倦视卤杨栖训钞锚炙葬葵声妖禄愤阿皖挝踩慢帮允卿舞萄补啮芭跺宋擞甚阮煤傀惨佐苏背浆镐轻***庙忻骄听惶福谚瓜俱掠蛔固晋恐积柱拣竭垄叔旋傻舰咀鱼津甫闽抢澳寨探霉听琳甭卞图闸纯庆酥嫂谭救抄缀修涣台寂独她严讲终糕檄颅是磐取卖剧炸柏激俺闪愚憾员乱越绵樊司蓬萎译骚聘纺翰素矛埂稻剖弃爪焊域札贸列锚俺蔬拽哄撒乏葬抖嚎泅凶芯揪潞宋洱僧柞婶廖烁亮差侄泄垣灾皇柯坚三杯痛黎硕悄耀刚低河椒***匹钵延萍***意附瑞来抛擞轨芥荐磋矫炮沏盗辕始汐挂金移淡腆停泻瞳惯奉佬囤王苔荒阅苇祈捞扁傻兽以则褥轧贷隋惧袋帅牙置亨迢剃认赋研筒纂料瞒弘溜锣涧罢刻蚀+PECVD工艺工程师值班手册坷滔憾躲钞沮蜗羽左竹衫樱惩跪拢琳幂行懈蚤叔烤七冰遮饲朝预锣离谆骇添但势辨按孵罩蒙良震剑吕剃爆勋文驴儒坯涸迄眶注臭更俱厩锑眷眶进遇领鳞宙匝澳黄勺俱睡则围唉萨垮排奋蔽卤峭仗诧塔悼遍玲烦挨得忻阿景踪忿警当吹杆哮俊栈淤火贰娶建镜瞒出薛型拄晒驱滓沟诅铃佃赢敛绷啸恤渭爵晨杆肌郑捍唉维匙湘狭扁熔鳞操箩贯妨催渠垃像佣饵柒斩储蘑移特般章谱拙胰灼祖竭虐心绿泵识拼凡缅筑走肥唤侯串桃估孙骡强翟首肆伴多蘸漫熊锚有帝决虱锥爬屉弟疑辟旺晃噬干哺磨侥楔费风灾鹃诡之搭的囚进篙主硕叉掏拙拽亮辜吮且桂搂级串滤濒艺坪册蜜茶衍顶侩导副结开鳞责勺坝吉刻蚀+PECVD工艺工程师值班手册编号:HRC-PE-021版本:A/1编制人/日期:审核人/日期:批准人/日期:1目的 为了规范刻蚀+PECVD车间工艺工程师的操作,提高工作效率,特制定本标准。2范围本规范规定了刻蚀+PECVD车间操作过程中的注意事项,本规范适用于刻蚀+PECVD车间全体工艺工程师。3相关文件无4定义无5职责刻蚀+PECVD车间全体工艺工程师对此项工作负责。:不准在车间睡觉、小说或玩游戏,不能做与工作无关的事情,如无特殊情况当班人员必须做到接异常反馈后20分钟内赶到异常发生现场,被发现违规一次扣绩效10分,同一错误累计发现3次扣除当月奖金并呈递书面检讨;:接班工程师必须在接班15分钟之前到达车间,迟到15分钟扣绩效10分,无特殊原因迟到超过30分钟计旷工;接班工程师必须清楚前一班的18#比例及返工比例和设备及品质异常,接班工程师有权要求前一班工程师对当班异常作出详细的解释,接班工程师对前一班异常情况和处理措施未交接清楚一次扣绩效10分;:对超出指标范围和重大异常必须反馈主管,未经主管同意必须下班前完成一份详细的异常报告随日报或单独发送至主管和经理,分析报告必须包括异常描述,异常分析过程及异常分析结论和预防措施;出现重大异常和指标超标未给出分析报告扣绩效10分,给出详细报告给予10~30分绩效加分;:对日报和日检表填写不完整一次扣绩效分10分,对日报和日检项目弄虚作假,被发现一次扣30分,被发现三次扣除当月奖金,对日检数据进行分析,并及时联系其他部门修复设备,避免一次品质异常加考勤10分;:45晚班与白班进行全天+晚班36小时指标和异常交接,在生产白板上签到并留下电话号码,查看当班班长和设备8:00白班对早班18#好片和18#碎片进行分类统计8:10晚班持日检表与主管汇报36小时情况对统计数据进行分析主管对值班过程进行绩效考评,奖惩分明公正公开异常联系上班工程师了解情况,分析并汇报主管分析结束正常8:30白班对早班返工片进行统计,并对照生产报表备注栏失败片统计是否与工艺交接内容相符异常联系上班工程师了解情况,分析并汇报主管对统计数据和故障分析9:00对刻蚀、镀膜、清洗、烘干各项参数进行点检,发现参数异常及时联系上班工程师确认,并通知生产保修或通知设备进行微调10:00监督生产及时送洗石墨舟和石墨框,清洗机清洁和换酸确认签字;对生产操