文档介绍：超纯水设备净化法流程描述
电子、半导体工业的芯片生产在制作过程中,往往需要使用极其纯净的超纯水。如果纯水水质达不到生产工艺用水的要求或者水质不稳定的话,会影响到后续工艺的处理效果和使用寿命。此外,晶片清洗和机械碾磨过程中都会产生废水,造成对环境的污染。所以都需要超纯水设备进行清洗。
反渗透系统是整个超纯水系统的核心部件,只有通过反渗透才能达到超纯水的标准。反渗透系统主要采用膜过滤工艺。然后水分子可以通过反渗透膜。其他一些如钙、镁、钠等离子随废水一起排掉。下面超纯水设备的组成部件。
1、精密过滤器
本过滤器主要过滤水中的大颗粒分子。
2、特种高压泵
一般这里我们采用的高压泵为南方特种泵。为反渗透设备提供强劲的动力。
3、反渗透膜
反渗透膜采用的是膜过滤技术。让水分子通过其他一些离子不能通过达到净化水的目的。
微电子行业包括了电解电容器生产、电子管生产、显像管和阴极射线管生产、黑白显像管荧光屏生产、液晶显示器的生产、晶体管生产、集成电路生产、电子新材料生产等生产工艺,都需要工业超纯水。传统化学及介质过滤生产超纯水的方法,会因在水中添加各种化学剂,制备过程冗长等各种因素造成产水的不稳定,无法确保长期、稳定的超纯水。