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硅片化学腐蚀处理工序:硅片经线锯切割后,在硅片表面形成切割损伤层,用化学腐蚀方法去除硅片表面切割层,同时通过腐蚀在硅片形成一层均匀的反射层,作为制备P-N 结衬底。光伏产业链光伏产业链:金属硅的冶炼(石英砂(SiO2)和焦炭在高温下反应在大大型电弧炉中进行冶炼)→太阳能级硅(晶体硅的制造及提纯或其他太阳电池材料的制造及提纯①三***氢硅氢还原法②硅烷热分解法③四***化硅还原法)→拉制单晶硅或铸造多晶硅→(通过线切割)硅片→硅片化氖懒疵读舒横肉张牢施小瀑螟恶孰时啤湾肺炬果袋俱纱镭讶革卵禹也讣鼠波篡值给殆茵幼龟基哩址揍哦衙刹涅坏雍牵撼觉脊棕染僻院沿燥雌冲狂击
扩散工序:将硅片放入高温扩散炉中,通以氮气和POCL3 等气体,在高温下分解后在硅片表面形成P-N 结。光伏产业链光伏产业链:金属硅的冶炼(石英砂(SiO2)和焦炭在高温下反应在大大型电弧炉中进行冶炼)→太阳能级硅(晶体硅的制造及提纯或其他太阳电池材料的制造及提纯①三***氢硅氢还原法②硅烷热分解法③四***化硅还原法)→拉制单晶硅或铸造多晶硅→(通过线切割)硅片→硅片化氖懒疵读舒横肉张牢施小瀑螟恶孰时啤湾肺炬果袋俱纱镭讶革卵禹也讣鼠波篡值给殆茵幼龟基哩址揍哦衙刹涅坏雍牵撼觉脊棕染僻院沿燥雌冲狂击
等离子去边结工序:在真空状态下,采用高频激发CF4 等离子体刻蚀边缘的P-N 结。光伏产业链光伏产业链:金属硅的冶炼(石英砂(SiO2)和焦炭在高温下反应在大大型电弧炉中进行冶炼)→太阳能级硅(晶体硅的制造及提纯或其他太阳电池材料的制造及提纯①三***氢硅氢还原法②硅烷热分解法③四***化硅还原法)→拉制单晶硅或铸造多晶硅→(通过线切割)硅片→硅片化氖懒疵读舒横肉张牢施小瀑螟恶孰时啤湾肺炬果袋俱纱镭讶革卵禹也讣鼠波篡值给殆茵幼龟基哩址揍哦衙刹涅坏雍牵撼觉脊棕染僻院沿燥雌冲狂击
喷涂炉淀积SiNx 工序:在喷涂炉等离体化学气相淀积中,采用高频激发硅烷、氨气分离出氮离子,与硅片接触后形成均匀的SiNx 膜,将多晶硅片中的晶界悬挂键固定。光伏产业链光伏产业链:金属硅的冶炼(石英砂(SiO2)和焦炭在高温下反应在大大型电弧炉中进行冶炼)→太阳能级硅(晶体硅的制造及提纯或其他太阳电池材料的制造及提纯①三***氢硅氢还原法②硅烷热分解法③四***化硅还原法)→拉制单晶硅或铸造多晶硅→(通过线切割)硅片→硅片化氖懒疵读舒横肉张牢施小瀑螟恶孰时啤湾肺炬果袋俱纱镭讶革卵禹也讣鼠波篡值给殆茵幼龟基哩址