文档介绍：一、开机。打开设备总电源、冷水机和空压机,,水温在15—25度,。然后开冷阱机、机械泵,等机械泵声音平静后,延时20秒,再开预阀、扩散泵。让电炉对扩散泵加热一小时,使扩散泵温度达到195度。二、清洁镀膜机。开放气阀后,打开真空室,开始打扫真空室卫生。然后增加膜料,检查比较片是否够用,再装入镜片。三、抽真空。关预阀,延时3秒开低阀,对真空室抽低真空。打开真空计、工转至30V、烘烤电压到100V。当低真空达到5Pa时关低阀,延时3秒依次开预阀、高阀。四、膜料除气。高真空达到7E-3PA后开始对膜料除气,除气要缓慢而充分。五、离子源轰击。除气结束后用离子源轰击10分钟,首先充入氩气,再检查各调压器开关是否在零位。接着将屏极和加速极电压至200V,此时其它表指针均在零位。调节阳极电压到80V左右,逐渐调节中和电流到12A,再慢慢调阴极电流,使其电流逐渐上升,当阴极电流上升到十几安培时,阳极电压开始下降,阳极电流、合成束流开始有指示。再继续增大阴极电流(最大不超过14A),阳极电压随之下降,合成束流逐渐增大,交替调节阴极电流、阳极电压和屏极电压,使阳极电压降至50-7-V,合成束流达到70-80mA。在这一过程中应注意加速极电流的变化,若超过20mA,要将阴极电流降低一些。离子源关闭步骤。先将阴极电流降低,然后依次将屏极电压、阳极、加速极电压、中和电流都降为零,最后关闭中和偏置电压、电源开关和质量流量计。六、蒸镀。-3PA后,进行蒸镀,镀完膜后关枪灯丝、高阀、工转、烘烤和复合真空计。大约10分钟后开放气阀,取出镜片。七、停机。合上真空室门,关放气阀、预阀,开低阀对真空室抽低真空,完毕后关低阀开预阀,关扩散泵,使扩散泵降温,大约1小时关预阀、机械泵,最后关空气压缩机和冷水机。注意事项:1、镀膜之前应检查波长是否调到所需要的值,工转电压调到100v,比较片是否用过,坩锅的转动是否正常,膜料的平整度。膜料高低是否合适,太高会卡死坩锅,太低使蒸发角太小,膜料应有一个平坦的表面,这是保证成膜均匀的一个条件。2、镀AL2O3时应特别注意膜厚仪数字的跳动量、束流的大小,,大约3分钟镀完一个极值。3、镀ZRO2时要注意斑点大小的变化,应靠边,斑点成圆形且不能有塌边现象,移动时一次移动半个斑点的距离,发现斑点太小时赶紧移位或降低束流,使整个膜料均的消耗下去,膜料就不会穿孔。—,—3分钟镀完。4、镀MGF2时一次移动的距离为三分之一个斑点,—,一个极值约3分钟镀完。李吕兵2007/7/17嗜彪岿蓖褂迸泡泰哟赔卯轨腺主郭舔恩齐当匿模覆苛死虹暇狐恃贩瓣