一、技术性能与指标：.doc

文档介绍：一、技术性能与指标:1、大真空蒸镀设备性能参数①蒸发源配置:8个有机源+2个金属源,三组可两两共蒸②真空系统:前级泵:爱德华或者安捷伦品牌机械泵,抽速>12m3/h;高真空泵:品牌进口分子泵如Osaka,布鲁克斯,TURBO,抽速>560L/s极限真空度:>9×10-7mbar③膜厚控制系统:蒸发源温度或电流控制蒸发速率显示精度:≥Å/s蒸发速率控制精度:≥Å/s蒸发速率稳定性:≤5%膜厚均匀性:≤5%④衬底尺寸:>150×150mm⑤软件性能:整个实验过程由计算机自动化控制,inficon专业控制软件。2、小真空蒸镀设备性能参数①蒸发源配置:3个有机源+3个金属源,一组可两两共蒸②真空系统:前级泵:抽速>12m3/h;高真空泵:品牌分子泵,抽速≥560L/s极限真空度:>5x10-5Pa③膜厚控制系统:蒸发源温度控制精度:>±2℃蒸发速率控制精度:Å/s膜厚均匀性:<5%④衬底尺寸:>100×100mm⑤专业控制与分析软件:3、手套箱系统①手套箱尺寸:1500mm<长度<1800mm三只手套②品牌油泵:爱德华或者安捷伦油泵③水含量:<1ppm;氧含量:<1ppm;泄漏率≤%/h,二、仪器主要配置:1、真空蒸镀设备配置:;:水冷铜电极接口,蒸发温度≤1300℃;2套;:配有机蒸发源8组,::1套,:钼舟20个;高纯度铝质坩埚20个;:1台;:1台;::::