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半导体电子工业工艺回用水方案.doc

上传人:经管专家 2011/10/19 文件大小:0 KB

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半导体电子工业工艺回用水方案.doc

文档介绍

文档介绍:一、工程概况(略)
二、顶目概述
,经处理后的水质符合业主单位提出的技术要求。根据上述原则,采用"预处理+反渗透+电去离子EDI"的工艺流程编制方案。
三、设计基础
:
:半导体电子工业工艺回用水
:反渗透装置脱盐率≥97%
:预处理出水≥15m3/h
反渗透出水≥10 m3/h (25℃)
注:产水量以25℃水温为标准,水温每上升或降低l℃,产水量上升或降低3%.
:
:经过深度处理的半导体IC切割、研磨清洗废水
:原水质符合《城市污水再生利用城市杂用水水质》工业与产品用水标准
项目
PH
CODcr
BOD5
SS
色度
排放标准
6-9
≤20
≤4
≤6
≤8倍

(ASME)和美国材料试验学会(ASTM)的工业法规中涉及的标准或相当标准。
:
HGJ32-90《橡胶衬里化工设备》
JB/T2932-1999《水处理设备制造技术条件》
CJ/T119-2000《反渗透水处理设备》
,则可采用材料生产厂的标准。反渗透系统设计时采用膜元件制造公司的设计导则及设计软件进行。
四、工艺系统概述
:
预处理-反渗透-中间水箱-水泵-EDI装置-纯化水箱-纯水泵-紫外线杀菌器-抛光混床--用水对象(≥)(最新工艺)
原水—→原水泵—→石英砂过滤器—→活性炭过滤器—→保安过滤器—→
化学清洗装置阻垢剂加药装置化学清洗装置
↓↓↓
—→超滤装置—→超滤水箱—→高压泵—→反渗透装置—→回用水池
:
水处理工程采用是"预处理+超滤+反渗透"的工艺流程。
:

预处理的主要目的是去除原水中的悬浮物、浊度,保证后续超滤设置、反渗透设备的正常运行。针对原水的水质特点,设置的预处理系统设备主要包括原水泵、石英砂过滤器、活性炭过滤器、保安过滤器等。
(1)原水泵
原水泵主要作用是对原水进行增压,为预处理系统提供动力源。原水泵的泵体为SUS304不锈钢结构,具有体积小,高效率,低噪音等特点。
本设备采用南方泵业的CDL16-3立式多级离心泵2台,工作状态为一开一备。
主要技术参数:
型号:CDL16-3
流量:18m3/h
扬程:32m
功率:
数量:2台
(2)石英砂过滤器
石英砂过滤器主要作用是除去进水中的悬浮物、胶体等杂质,降低水的浊度和SDI值。石英砂过滤器内填精制的多种规格石英砂。石英砂过滤器的反洗以设备前后压力差来控制反冲洗周期,。为保证石英砂过滤器的反洗质量,反洗最佳采用气擦洗方法,有利于排除滤层中的沉渣、悬浮物等,并防止滤料板结,使其充分恢复截污能力。设备反洗后再通过正洗投入运行,反洗采用滤前水。
本设备采用φ1000钢制过滤器2台,工作状态为交替运行、反洗。
主要技术参数:
型号:φ1000
型式:垂直圆筒
流速:12m/h
数量:2台
材质:Q235-A
防腐:内衬硫化橡胶
(3)活性炭过滤器
活性炭过滤器主要作用是用于吸附原水中的有机物、余氯及有害物质,降低COD含量。活性炭过滤器内填精制果壳型活性炭。反洗以压差参数设置来控制反冲洗周期,。
本设备采用φ1000钢制过滤器2台,工作状态为交替运行、反洗。
主要技术参数:
型号:φ1000
型式:垂直圆筒
流速:12m/h
数量:2台
材质:Q235-A
防腐:内衬硫化橡胶
(4)保安过滤器
保安过滤器主要作用是将沉淀物截留,防止水中细微颗粒进入后续设备。
本设备采用φ300钢制过滤器2台,工作状态为交替运行、反洗。
主要技术参数:
型号:φ300
型式:垂直圆筒
数量:2台
材质:SUS304
滤元:聚丙烯内附骨架
数量:10芯/台
长度:40英寸
精度:5μm

超滤系统主要目的是去除水中绝大多数的胶体颗粒、有机物等杂质。设置的超滤系统设备主要包括超滤装置、循环泵、反洗泵、超滤水箱等。
在采用反渗透装置的水处理工程中,预处理的目的希望通过这一工艺降低进水中的污染物,提高对反渗透装置的进水水质,能够保证反渗透装置中的膜元件长期、稳定性能。采用超滤设置做反渗透装置的预处理,可得到高质量的反渗透装置的进水水质,从而保证延长反渗透装置

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