文档介绍：西北工业大学
硕士学位论文
基于XML的MEMS材料数据库设计与实现
姓名:朱晓华
申请学位级别:硕士
专业:机械制造及其自动化
指导教师:苑伟政
20050201
西北业大学硕卜学位论文摘要
摘要
微机电系统是目前一个新兴的学科交叉领域,具有广泛的应用前景。
但是山于器件设计过程的特殊性,一种用于辅助设计的计算机软件
已经成为必不可少的设计工具,其中的材料数据库是这种设
计工具的重要组成部分,也是实现设计、加工及其仿真的重要基础,是实
现产品规范化的保证。同时,材料数据库的设计与开发对于实现微机
电系统产品的设计开发,实现产业化等具有重要的理论和应用价值。
首先,针对当今器件的结构化设计方法,从系统的高度,论证了
对器件设计的必要性。综合对比当今大型软件,分析了
中的重要组成部分一材料数据库在器件的设计综合分析、加工和仿真、
产品测试等不同阶段的重要作用。
其次,结合材料属性数据的半结构化和语言自描述性的特点,提
出了用技术实现材料数据库的设计,采用语言描述其数据文档结构,进
行了数据模式设计,并将这些文档作为数据库的底层数据。根据设计平台的要求,
确定了数据库的用户界面、数据操作、底层数据文档的三层体系结构。同时确定
用图形用户界面包作为界面设计工具,用工具命令语言作为数据
操作语言。
最后,实现了数据库数据的增加、修改、删除等功能,并且有效的与实验室
平台进行集成。收集了大量的实验数据,对数据进行了分类,
确定了数据库的数据内容。数据库大约保存了多种材料的数据属性,其中包
含如、单晶硅、等加工中常用的材料,每个数据都同时记录了数
据值、加工条件、数据来源等。这些数据必将大大方便设计并可以作为设
计人员的有效参考工其。
关键词微机电系统材料数据库半结构化数据数据库工具命令
语一台
西于业大学硕十学位论文
、
,
两北下业大学硕士学位论文
、
土卜
,
一
两北丁业大学吹十学位论义绪论
第一章绪论
微机电系统的研究现状和发展趋势
微电子技术的巨大成功在许多领域引发了一场微小型化革命,以加工微米
纳米结构和系统为目的的微米纳米技术在此背景下
应运而生。一方面人们利用物理化学方法将原子和分子组装起来,形成具有一定
功能的微米纳米结构另一方面人们利用精细加工手段加工出微米纳米级结
构。前者导致了纳米生物学、纳米化学等边缘学科的产生,后者则在小型机械制
造领域开始了一场新的革命,导致了微机电系统
的诞生。
微机电系统,是专指那种外形轮廓尺寸在毫米量级以下,构成它的机械零件
和半导体元器件特征尺寸在微米一纳米量级了米一“米,可对声、光、热、
磁、运动等自然信息进行感知、识别、控制和处理的微型机电装置,是正在飞跃
发展的微米纳米技术的一项十分重要的成果。它将微型电机、微型电路、微型
传感器、微型执行器等等微型装置和器件集成在硅片上,这种微型机电系统不仅
能够搜集、处理与发送信息或指令,还能够按照所获取的信息自主地或根据外部
的指令采取行动。
技术的发展为传感器技术开辟了一个全新的领域和产业。它们具有许
多传统传感器无法比拟的优点,因此在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、
军事以及几乎人们接触到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。
大多数专家预测技术在今后的主要发展趋势综合如下
研究方向多样化从历次大型国际会议和
的论文来看,技术的研究日益多样化。
技术涉及的领域主要包括盼器件如加速度计与陀螺、原子力显
微镜、数据存储、三维微型结构的制作、微型阀门、泵和微型喷口、流量器件、
微型光学器件、各种执行器、微型机电器件性能模拟、各种制造工艺、封装键合、
医用器件、实验表征器件、压力传感器、麦克风以及声学器件等个发展方向。
内容涉及军事、民用等各个应用领域。
两北丁业大学吹十学位论义绪论
第一章绪论
微机电系统的研究现状和发展趋势
微电子技术的巨大成功在许多领域引发了一场微小型化革命,以加工微米
纳米结构和系统为目的的微米纳米技术在此背景下
应运而生。一方面人们利用物理化学方法将原子和分子组装起来,形成具有一定
功能的微米纳米结构另一方面人们利用精细加工手段加工出微米纳米级结
构。前者导致了纳米生物学、纳米化学等边缘学科的产生,后者则在小型机械制
造领域开始了一场新的革命,导致了微机电系统
的诞生。
微机电系统,是专指那种外形轮廓尺寸在毫米量级以下,构成它的机械零件
和半导体元器件特