文档介绍：Sb掺杂ZnO论文:直流磁控溅射制备ZnO:Sb薄膜及其光学性能研究【中文摘要】氧化锌(ZnO)是一种新型的直接宽禁带化合物半导体材料,,激子束缚能约为60meV,在室温下易实现高效率的受激发射。由于ZnO在结构、电学和光学等方面有诸多优点,加上ZnO薄膜制作方法的不断优化,使其在发光二极管、透明导电膜、太阳能电池窗口材料、表面声波器件、气敏传感器等领域具有广泛的应用。本文采用直流磁控溅射镀膜工艺,分别在玻璃衬底上沉积了ZnO及不同锑掺杂浓度的薄膜(ZnO:Sb),在实验中薄膜样品分别在高纯氮气中进行了退火热处理,退火温度为450℃和550℃,退火时间为1小时。采用台阶仪、双光束紫外-可见分光光度计、X射线衍射(XRD)和荧光分光光度计等手段对制备的ZnO及Sb掺杂的ZnO薄膜样品的厚度、结构和光学性质等进行了深入的研究。XRD结果表明,随着退火热处理温度的升高,ZnO晶粒逐渐增大,并逐渐从非晶态向晶态转变,得到在(002)方向上择优生长的ZnO薄膜,获得了稳定性较好的工艺条件。本文分析了Sb的掺杂量、氧气浓度和退火温度对ZnO及ZnO:Sb薄膜透射率、微结构及光学带隙的影响。研究结果发现:Sb的掺杂使得薄膜的晶面间距变大,随着掺杂量的增加...【英文摘要】Zincoxide(ZnO),electricalandoptical,,Sotherearegreatpotentialapplicationsinlight-emittingdiodes,transparentconductivefilm,solarcellwindows,surfaceacousticwavedevi...【关键词】Sb掺杂ZnO直流磁控溅射透射率光学带隙光致发光【英文关键词】Sb-ronsputteringTransmittanceOpticalbandgapPhotoluminescence【目录】直流磁控溅射制备ZnO:Sb薄膜及其光学性能研究摘要5-6ABSTRACT6-71绪论10---:Sb薄膜的性质及应用研究14-:Sb薄膜的性质14-:Sb薄膜的应用18-----252ZnO及ZnO:Sb薄膜的制备25--(ronSputtering)(P