文档介绍：、固体颗粒的气体;除了耐腐蚀型泵以外,其他任何分子泵不能用于抽除腐蚀性气体,耐腐蚀型泵在抽除腐蚀性气体时,必须给分子泵的保护气体入口连续通惰性保护气体如氮气等,且泵油使用我公司提供的专用耐腐蚀分子泵油。确认分子泵与电源相配套。每种泵都只能使用本说明书中规定的与之匹配的电源供电,否则造成的损失,本公司概不负责。确认安装环境必须满足如下条件:泵体表面径向和轴向磁场强度均不得大于3mT(30Gs);环境放射性强度<105rad;环境温度为5~40℃;空气相对湿度:≤85%;电压:220±22V,频率:50±1Hz;海拔:≤3000米。安装前应检查分子泵运输中是否被损坏:打开泵高真空端法兰盖板,戴好手套,拨动涡轮转子,应转动灵活,无异常现象。若存在异常现象,应及时通知我公司,不得自行处理,否则由此带来损失我公司概不负责。不允许将分子泵长期置于大气状态下存放,在打开进气口和排气口盲板时,应注意真空卫生要求,严禁杂物、灰尘等落入泵内。安装环境应符合技术要求和真空卫生要求。,尺寸见分子泵安装简图和分子泵排气口简图。注意:法兰密封面不得有划痕、刀口不得磕碰。泵的联接可利用进气口法兰吊装或将泵置于基座平面上,但F-400/4200不建议吊装,若一定要吊装必须用活套法兰(订货时单独订购)固定。分子泵的进气口法兰通过金属波纹管与系统联接时,分子泵必须固定。为保护分子泵转子,防止外界物质落入泵内,可在泵口装上防护网,但装入此网后,抽速约降低15%左右。前级泵与分子泵的联接应采用具有减震效应的金属波纹管,管路上应装有隔断放气阀,作为停机时对前级机械泵放气。放气阀可选用手动阀或电磁阀。放气过程的操作请参照停机部分。为保护泵体真空卫生,防止潮湿,放气时,可通氮气或干燥空气。注意!!分子泵吊装时,气体入口与真空腔体之间的连接管道不得长于200mm,否则可能产生焊缝拉裂、振动放大效应,对真空系统和分子泵产生危害;法兰刀口不得磕碰划伤、密封面不得有径向划痕,否则会降低抽气效果。,也可采用冷却水系统。对于高沉淀或腐蚀性水建议采用循环水系统,以防水管堵塞或腐蚀。冷却水流量不应低于1升/分,~,温度不应高于25℃,温度较高时,应加大冷却水流量。水嘴所接的水管为φ10x1mm,分子泵的工作环境温度为不大于40℃。,已把润滑油卸去。注意!!用户在初次使用分子泵时必须先加入润滑油。操作过程如下:用扳手将紧固油池的螺钉松开,取下油池。从滤网外向油池中注入规定量的分子泵润滑油,即油面应处于油标上下限之间,不得低于油标下限,以保证轴承的良好润滑,油标为无色标志线。将油池紧固到泵体上。安装时注意胶圈的位置和卫生,螺钉对称拧紧,否则容易漏气。注意!!装油池时,要注意对称上紧,避免漏气。分子泵润滑油采用不易裂变的低饱和蒸汽压的专用分子泵润滑油,不得用其他油品代替。润滑油应洁净,严禁污物、杂质和尘埃落入。必要时应对润滑油进行过滤。注意!!禁止使用其它的代用润滑油,违规操作的任何后果,用户自行承担。