文档介绍：拉晶工艺流程直拉单晶操作规程拉晶工艺流程包括拆炉 清炉清理石墨件 :准备好不锈钢推车,(车面保持干净)专用擦试布,无水乙醇及相应的工具。先拧开副室门螺丝,打开副室氩气阀门充气,待真空表压力到零位置时,炉内外气压平衡,开启副室门,把晶棒升至副室内,升起副室炉筒,转副室炉筒时必须把托盘移至副室以下,,稳定晶棒后,,然后带手套抓住细颈稍带点力向下攥,用钳子把细颈剪断,再慢慢松细颈,直至钢丝绳搞正完全消失(防止钢丝绳转圈导致钢丝绳开叉),查看一下钢丝绳是否完好,如开叉或断股要剪掉一段,必要时需更换新钢丝绳。检查重锤表面是否有氧化层,如有,必须用细砂纸打磨干净,然后带好专用手套取出导流筒,保温盖,三瓣埚,石墨托盘,托杆,送至清石墨件房,待自然冷却后进行清理,特别注意托杆上有无硅点情况,(防止没有清理干净,与托杆护套摩擦在拉晶过程中液面抖动.):清理炉子的副室炉筒,小副室,炉盖,炉筒,用长纤维纸,酒精把以上部位全部擦拭干净,做到长纤维纸擦拭过后无污迹。每炉必清排气口,以免造成排气口堵塞,挥发物过多;用吸尘器吸干净保温罩与加热器上下的挥发物,吸净碳毡上的毡毛。需保证在晶体的生长过程中尽量避免不起毛,无挥发物等杂质进入料中。清理石墨件的时候必须注意观察石墨埚的厚度,能不能达到要求,是否有裂纹等。把石墨件上的挥发物与一些杂质清理干净。若石墨件上溅有硅料,应用什锦挫或细沙布打磨除去,必要时用砂轮机打磨。注意:清理石墨件的时候必须注意轻拿轻放,防止造成内裂!:安装石墨件时各部位应相互吻合牢固,发现异常及时进行修正,打开埚转,观察石墨埚转动是否平稳,四周与加热器的间距是否匀称,检查取光孔是否对准,检查与钢丝绳软轴是否有异常。装炉应按其程序规范操作:原料准备检查石英坩埚打开原料袋去掉外层塑料袋,然后准备装炉。炉前人员必须检查核对所装炉的原料与母合金,是否准确无误。检查石英埚,保证无大量气泡群,无损伤,内表面无黑点,如有异常,标识清楚,由大班长确认后方可更换。把石墨件按次序装入炉内,穿好防尘服,戴好防尘帽,戴上棉手套与两层一次性手套,用氩气吹一下石英坩埚内壁后装入石墨埚内,再用蘸有少量酒精的纤维纸擦拭干净,给上埚转,观察坩埚是否水平,保证水平的情况下才能装炉。装料时必须轻拿轻放,先在底部平铺一些小硅料,然后把一些大块的料轻放在中间,再把一些小料放在大块料的中间,填大料缝隙。避免小料与坩埚接触面积过大,这样容易造成料粘埚边上导致石英埚变形。把硅料装好后,再把导流筒用蘸有酒精的纤维纸擦拭一遍。给上埚转后把埚降至化料埚位。然后装入导流筒,避免与硅料直接接触。检查无误后安装籽晶,将位置摆正,插好销子,稍用力往下拽,以免籽晶与钼销因未接触而悬空,同时每炉检查钢丝绳是否老化。擦净主炉室,副炉室,小副室的密封圈面,然后合上炉盖与副室,稳定籽晶后关上副室门。:打开真空泵,缓慢的打开球阀,听抽气时的声音,。:在抽空过程中须导入几次氩气,这样使抽空的时间减短。可以带走炉内的湿度。:在加热之前必须先充氩气,然后再加热,一档功率为25KW左右,待过半个小时后把功率升至二档