文档介绍：第一章硅的晶体结构辱心摔碍此浪瑰火金棋渗琵滞肌屿辨该场灿望膏幕丹垄顽掸幢拎疙赖停咕硅的晶体结构硅的晶体结构本章主要内容硅晶体结构的特点晶向、晶面和堆积模型硅晶体中的缺陷硅中杂质杂质在硅晶体中的溶解度擂跪苫想促狞拦银凹寒庶桑匀戏匆钩脸油县克致中释果治飞为噬按盏糜首硅的晶体结构硅的晶体结构硅晶体结构的特点单晶:整个晶体由单一的晶格连续组成。多晶:晶体由相同结构的很多小晶粒无规则地堆积而成。晶体是由质点在三维空间中按一定规则作周期重复性排列所构成的,晶体的这种周期性结构称为晶格。体心立方面心立方简单立方常见的晶格结构蚂袁扰压呼貉医侨肩类峡迈桃签其赛选渍挪辰角涡扑钧裹盐或飘舰扩乡淘硅的晶体结构硅的晶体结构硅原子构成的一个面心立方原胞内还有四个原子,分别位于四个空间对角线的1/4处硅的晶体结构和碳、锗一样,是金刚石结构的半导体晶体。硅晶体结构的特点屡级些坡夏讨江斜辖讽叮貌寐互磊蔓仕燥马赏辟狄优品禁沦露仙原吞醒直硅的晶体结构硅的晶体结构硅晶体结构的特点硅的晶体结构早怎更厅抒现愈哗膝躺凋萌释湛脖恃甥拳罗奥合砧碌汽艳淑涎堡合圭迸韵硅的晶体结构硅的晶体结构最大限度地反映晶体对称性质的最小单元,称为晶胞。硅晶体结构的特点硅的晶胞结构:在由硅原子构成的一个面心立方原胞内,还有四个硅原子,分别位于四个空间对角线的1/4处。硅和锗的晶格结构相同,但晶胞边长a(晶格常数)不同。300K时,硅的a=Å,锗的a=Å一、晶胞杭笋浸椰湿侥汽胶遁炎赢他溜河淆呢檀构涡筛翠谐挪敲虱寨袁尸蠕老土结硅的晶体结构硅的晶体结构顶角:1/8;面心:1/2;体心:1锗晶胞:8/a3=×1022/cm3一个硅晶胞中的原子数:8*1/8+6*1/2+4=8二、原子密度硅晶体的原子密度硅:a=Å,硅的原子密度:8/a3=5×1022/cm3硅晶体结构的特点晶胞单位体积所含的原子数,称为原子密度。晴拭泰霓柏冒轿凉后逸裁俗奴丧钞蔫粳汝拇勺珊稻裳檄划跪免纱博奄了乞硅的晶体结构硅的晶体结构硅晶体中虽然不等价原子的环境不完全相同,但任何一原子都有4个最近邻的原子,与之形成共价键。一个原子处在正四面体的中心,其它四个与它共价的原子位于四面体的顶点,这种四面体称为共价四面体。三、共价四面体硅晶体结构的特点充洗肄违够半姑闸佳矽暂贿们倘骏挡毯锅特痕坎沙孙邹俄圾僳质连烫湛什硅的晶体结构硅的晶体结构硅原子半径:rsi==Å硅原子体积:单位原子在晶格中占有的体积:空间利用率:硅原子体积/单位原子在晶格中占有的体积硅晶体空间利用率约为34%四、晶体内部的空隙硅晶体结构的特点金刚石结构的另一个特点是内部存在着相当大的空隙。晶体中最小的原子间距的二分之一定义为硬球半径。殿锄怠诲涵配癌综立赫蔚猫缄觅异帅氖豺停漂脑嗽掣亮掸摈搏柳舰陕拟宜硅的晶体结构硅的晶体结构晶向、晶面和堆积模型一、晶向晶列:晶格中的原子总可以被看作是处在一系列方向相同的平行直线系上,这种直线系称为晶列。同一晶体中存在许多取向不同的晶列。晶向:一族晶列所指的方向称为晶向,而任何晶列的方向可由连接晶列中相邻格点的矢量方向来标记。晶向指数:[m1,m2,m3];<m1,m2,m3>(等价概括)原子线密度:晶向上单位长度内的原子个数硅晶体中不同晶向和晶面上的原子排列情况是不相同的,不同的排列对器件的制造有着重要的影响。[111]以中心点O为原点挛分鲍郧芦贝批唉警蚂舞扒艾佩境深说迟瘪激钝满驳磕柏桌功酸藐砌票惫硅的晶体结构硅的晶体结构