FM+7-7安全规范.doc

文档介绍：FMDATASHEET7-7 半导体制造厂相关设备(update)l1.”FactoryMutualResearchApproached”以下简称为”经FM核准”l2.”Listed”。(如subfab,电力设施,废弃物设施,化学品设施等)应避免下列暴露:,在洁净室建筑的区域内应无其它用途之区域;(包括暴风、地层事故、寒冷天气、冰雹、洪水等);,包括邻近区域、外部建筑、闪电、大火等;,如排水系统或液体输送系统;。,避免因涨潮或排水系统倒灌而造成地下层损失的可能。,或者对于原本的危害威胁有一小时的抵抗时间(1-hourrated~),但介于洁净室与邻近区域之间的airshower(入口处)除外(应为不可燃材质);有窗户的走廊或墙亦应为不可燃材质;当邻近区域的危害大于原有区域的危害时,邻近区域应安排于另一独立建筑。,并能避免烟(smoke)及熏烟(fume)等污染物扩散,黄光区(photolithography)及邻近区域间、生产区之间、湿式蚀刻与邻近区域之间应由天花板到地板作完全区隔。,同为不可燃材质,或经FM核准或FM特殊测试合格,适用于洁净室的材质。(subfab)的区隔楼板应为坚固的不可燃材料,其穿透处(ration)应该以可耐火一小时经FM核准的防火填塞材料(firestopmaterials)进行填塞。。,而所有隔间(板)也要检查,防火门应每年测试,MFL墙则每半年测试。(HighEfficiencyParticulateAir,%之去除效率)及UEPA(Ultra-highEfficiencyParticulateAir,%之去除效率)module应为经FM核准。(filterhousing)、百叶窗与天花板应为不可燃材质或经FM核准或FM特殊测试合格者。::如强化混凝土或钢骨结构。:于钢骨结构上增加混凝土及钢板强化。(可燃性隔板用钢板保护)可燃性气体等级。而可燃性结构,包括石膏板(gypsum,具一小时耐火时效)并不建议使用。,对于暴风、排水、冰雹、下雨及下雪等有保护能力。()。楼层应该有良好排水设施,防止水或污染物由楼板上方造成的液体泄漏