文档介绍：——————————韭L———二IYIIl[[1I[9l-■UJ-7●-7■摘要利用高反射、高电导的金属Ag和透明导电ITO多层复合制各透反射式高电导Ag/ITO/Ag多层薄膜,将该多层薄膜用作透反射式液晶显示器的下电极材料,可以提高透反射式液晶显示器的性能,所以对Ag/ITO/Ag多层薄膜体系开展研究具有重要的理论意义和实用价值。本文制备了一系列透反射式高电导Ag/ITO/Ag多层复合薄膜,Ag/ITO/Ag多层复合薄膜由表层Ag膜、夹层ITO膜和底层Ag膜构成,重点研究了不同表层Ag膜厚度对多层薄膜的微结构、表面形貌和光电特性的影响。采用效能因子和分光比对Ag/ITO/Ag多层复合薄膜综合品质因素进行了评价。本文主要创新点:,制备出“三明治”结构的透反射式高电导Ag/ITO/Ag多层薄膜,这种膜系结构可以提高多层薄膜的电导率和反射率,形成光电性能优异的Ag/ITO/Ag多层薄膜。将多层薄膜用于透反射式LCD的下电极材料,改善透反射式LCD的性能。。将Ag/ITO/Glass与ITO/Ag/Glass复合薄膜微结构,光电特性进行了对比研究。本文主要研究内容:,采用x射线衍射仪,表面轮廓仪,紫外可见分光光度计和四探针测试仪对底层Ag膜的微结构,膜厚和光电特性进行了研究。。利用X射线衍射仪分析了Ag/ITO/Glass和ITO/Ag/Glass复合薄膜的微结构,。。X射线衍射分析表明,随着表层Ag膜厚度的增大,A甙111)衍射峰的增强,且Ag/ITO/Ag多层薄膜中的Ag平均晶粒尺寸增大。,随着表层Ag膜厚度的增加,Ag//TO/Ag多层薄膜在可见光范围内的平均透过率先增加后降低,A93/ITO/Ag样品的透射Ag/rrO/Ag多层薄膜的制各、%;Ag/ITOIAg多层薄膜在可见光范围内的平均反射率增加。Ag/ITO/Ag多层薄膜的吸收先减小后增大。电学测试表明,随着表层Ag膜厚度的增加,Ag/ITO/Ag多层薄膜的电阻率先减小后略有增加,尤其是A93/ITO/。,随着表层Ag膜厚度的增加,Ag/ITO/Ag多层薄膜的效能因子先逐渐增大后减小。A93/ITO/(n/o)一,其对光的利用率最大,同时产生的功耗也最低。随着表层Ag膜厚度的增加,多层薄膜的分光比先略微增大后减小。关键词:Ag/ITO/Ag多层薄膜,微结构,透射,反射,吸收,面电阻HAbstractDuetotheiruniquephotoelectricalproperties,transflectiveandhighlyconductiveAg/ITO/posedofhihlyreflectiveandconductivemetalAgandtransparentconductivematerialsofITO,,whichemploysthiskindofmultilayerfilmsasalower-electrodematerial,,transflectiveandhiglllyconductiveAg/ITO/,haracteristicsofAg/ITO/