文档介绍：扫描电镜 scanningelectronmicroscope,SEM 第二期理论知识培训2012年11月21日培训概况培训内容疑难问题解答3培训概况培训时间:2012年11月21日~30日;培训地点:湖北工业大学分析测试中心电镜室;培训方式:一、扫描电镜理论知识培训二、扫描电镜操作培训三、能谱理论知识及操作培训四、上机培训11/6/2019理论知识培训内容扫描电镜工作原理扫描电镜构造扫描电镜主要性能指标样品的制备使用技巧及注意问题11/6/2019一、扫描电镜工作原理扫描电镜的成像原理和光学显微镜大不相同,它不用光学透镜来进行放大成像,而是用钨灯丝产生高速电子束击打样品表面激发出各种信号,由激发的信号转化成衬度不同的图像来实现对样品的观察。11/6/2019扫描电镜工作原理电子枪发射的电子束经过3个电磁透镜聚焦在样品表面按顺序逐行扫描,激发样品产生各种物理信号:二次电子、背散射电子、特征X射线等。信号强度随样品表面特征而变。它们分别被相应的收集器接受,经放大器按顺序、成比例地放大后,送到显像管。11/6/2019主要物理信号↓↓↓高能电子束二次电子背散射电子阴极荧光样品电流透射电子电子束感生电流二次电子探头~10nm(二次电子激发深度)散射电子特征X射线11/6/2019信号收集及显示系统11/6/2019SEM中的三种主要信号二次电子:二次电子一般都在表层5-10nm深度范围内发射出来,它对样品的表面形貌十分敏感,因此能非常有效的显示样品表面形貌。背散射电子:来自样品表面几百纳米的深度范围,由于它的产额能随样品原子序数增大而增多,所以可以用来显示原子序数衬度,定性地用作成分分析,即BSD探头收集信号进行分析。特征X射线:当样品原子的内层电子被入射电子激发或电离时,原子就会处于能量较高的激发状态,此时外层电子将向内层跃迁以填补内层电子的空缺,从而使具有特征能量的X射线释放出来。不同元素的特征X射线也不同,每种特征X射线的波长、能量都各不相同,用来收集特征X射线、并根据测定特征波长来分辨元素的谱仪叫波谱仪(WDS),根据测定特征能量来分辨元素的谱仪叫能谱仪(EDS)。11/6/2019各种信号的深度和区域大小