文档介绍：刻蚀+PECVD工艺工程师值班手册编 号:HRC-PE-021版 本:A/1编制人/日期:       审核人/日期:       批准人/日期:       1 目的  为了规范刻蚀+PECVD车间工艺工程师的操作,提高工作效率,特制定本标准。2 范围本规范规定了刻蚀+PECVD车间操作过程中的注意事项,本规范适用于刻蚀+PECVD车间全体工艺工程师。3相关文件无4 定义无5 职责刻蚀+PECVD车间全体工艺工程师对此项工作负责。6 环境无7 职业健康安全无8 :不准在车间睡觉、小说或玩游戏,不能做与工作无关的事情,如无特殊情况当班人员必须做到接异常反馈后20分钟内赶到异常发生现场,被发现违规一次扣绩效10分,同一错误累计发现3次扣除当月奖金并呈递书面检讨; 交接班制度:接班工程师必须在接班15分钟之前到达车间,迟到15分钟扣绩效10分,无特殊原因迟到超过30分钟计旷工;接班工程师必须清楚前一班的18#比例及返工比例和设备及品质异常,接班工程师有权要求前一班工程师对当班异常作出详细的解释,接班工程师对前一班异常情况和处理措施未交接清楚一次扣绩效10分; 异常分析报告制度:对超出指标范围和重大异常必须反馈主管,未经主管同意必须下班前完成一份详细的异常报告随日报或单独发送至主管和经理,分析报告必须包括异常描述,异常分析过程及异常分析结论和预防措施;出现重大异常和指标超标未给出分析报告扣绩效10分,给出详细报告给予10~30分绩效加分; 日报和日检表的填写制度:对日报和日检表填写不完整一次扣绩效分10分,对日报和日检项目弄虚作假,被发现一次扣30分,被发现三次扣除当月奖金,对日检数据进行分析,并及时联系其他部门修复设备,避免一次品质异常加考勤10分;  :监督生产换管期间对石墨框进行打磨,检验换管后抽真空时间及inline数据是否正常,若换管后膜厚均匀性或电池性能有异常,首先要求设备检查换管是否正常,设备确认正常,inline参数在控制线以内必须观察其4个小时内运行状况,若有异常立即要求设备检查或换管。:设备进行清理石英管等操作后,对机台先进行漏率测试,漏率在正常范围内可进行单排或整舟实验。:对清洗后石墨舟进行检查,石墨舟上不能残留氮化硅,并在石墨舟上确认清洗效果,清洗正常后方可同意生产烘舟,持续跟踪烘舟效果,烘舟确认时边缘不能发红,对刚烘过的舟必须先进行单排实验,再进行整舟实验,持续观察前两舟镀膜效果,及时调整沉积时间;对单舟连续出现5片以上现失败片石墨舟必须进行原因分析和解决措施,怀疑石墨舟损坏、电极松动变形或邻近清洗周期,必须有充分的数据证明其论点。::对于设备故障根据实际情况进行实验,实验原则为由少到多循序渐进原则,对于故障和停机前的硅片必须追踪和妥善处理,并对故障和停机造成的品质异常作详细记录,严重者形成报告,停电复机流程严格按照停机复机流程进行,跟踪复机结果。 18#片统计分析::值班过程中除日常点检外,必须加强对刻蚀机辉光过程的巡检力度,并监督生产对每组辉光过程进行参数记录和电阻率检测,发现数据作假必须记入巡检项目违规项目中;:每个班接班后对生产前一个班的18#好片进行分析,统计漏浆、摩擦、返工、等各种类型比例;并在包装报表上查18#碎片,统计虚印、一字中裂、十字中裂、穿孔等比例,并对18#碎片数目和种类进行抽查,发现种类和数目不对或某项比例异常要求当班班长和前一个班长沟通,给出合理的解释;若18#好片和18#碎片的总数大于印刷电池性能汇总总数,要求生产给出合理解释。:当班巡查18#或接到印刷生产或工艺反馈时:单晶或多晶出现连续20片18#或单线超过150片,立即通知主管工程师,超过500片/线在必要时应通知工艺部经理。:各线的18#片的情况,对单批超过20片的做详细记录,并调查原因,各班18#%,%,线间和不同车间18#%;由当班工程师及时的对原因进行分析;18#超标或某项比例和某机台突然飘高,必须分析原因;严重超标者必须有结论性分析,更严重者以18#分析报告形式随日报一起发出;分析18#时除了对比各机台片源差异和18#外观之外还必须借助热成像仪器和EL、高倍显微镜等仪器进行分析。 、刻蚀不完全和水痕片三种。