文档介绍：第5章
电容式传感器
主要内容
电容式传感器的工作原理
变极距型电容式传感器的非线性
电容式传感器的等效电路
电容式传感器的信号调节电路
电容式传感器的应用
电容式传感器利用了将非电量的变化转换为电容量的变化来实现对物理量的测量。
广泛用于位移、振动、角度、加速度以及压力、差压、液面(料位)、成份含量等方面的测量。
特点:
结构简单、体积小、分辨率高;
可实现非接触式测量;
动态响应好;
能在高温、辐射和强振动等恶劣条件下工作;
电容量小,功率小,输出阻抗高,负载能力差,易受外界干扰产生不稳定现象。
电容式传感器的工作原理
在实际使用中,通常保持其中两个参数不变,而只变其中一个参数,把该参数的变化转换成电容量的变化,通过测量电路转换为电量输出。
电容式传感器可分为三种:
变极板间距离的变极距型
改变极板面积的变面积型
改变介质介电常数的变介质型
电容式传感器的结构
变面积型电容式传感器
电容改变量与水平位移成线性关系
电容改变量与角位移呈线性关系
变极距型电容式传感器
简化:
近似直线关系