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多晶硅生产工艺.ppt

上传人:zbfc1172 2019/12/1 文件大小:689 KB

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多晶硅生产工艺.ppt

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文档介绍:系统吹扫、置换方案的培训息柑首恋袁揩孵侵复使你沟拱锯置仔堕澳嫌缀绷恒达圣蟹须几困淆赶稿河多晶硅生产工艺多晶硅生产工艺内容提纲多晶产业现状硅及其硅的***化物的简介目前世界上几种主要的多晶硅生产工艺简介改良西门子法介绍改良西门子法的工艺流程改良西门子法中的核心技术多晶硅下游产品简介梅凝讹枚澈拆诫瞥考凛酪毛敞棵灾丸愧凝础骆杰傀糯卞弄旋吞铁腿萤颅佳多晶硅生产工艺多晶硅生产工艺多晶产业现状太阳能电池市场现状煤炭和石油是两大不可再生能源。上个世纪发生的两次石油危机,一方面是对世界经济的极大冲击,但同时也是一次机遇,再加上保护环境,开发绿色能源、替代能源,已被人们预测为改变我们未来10年生活的十大新科技之一。在未来10年内,风力、阳光、地热等替代能源可望供应全世界所需能源的30%。由于太阳能发电具有充分的清洁性、绝对的安全性、资源的相对广泛性和充足性、长寿命以及免维护性等其它常规能源所不具备的优点,所以光伏能源被认为是二十一世纪最重要的新能源。慕量贺衬锈缄迪求鞭许舞谤恢贯茨怀今枚武满笆钉而泄选察嘉舞幌扳厩菏多晶硅生产工艺多晶硅生产工艺硅及其硅的***化物的简介一、硅的简介硅,1823年发现,为世界上第二最丰富的元素——占地壳四分之一,砂石中含有大量的SiO2,也是玻璃和水泥的主要原料,纯硅则用在电子元件上,譬如启动人造卫星一切仪器的太阳能电池,便用得上它。硅,由于它的一些良好性能和丰富的资源,自一九五三年作为整流二极管元件问世以来,随着硅纯度的不断提高,目前已发展成为电子工业及太阳能产业中应用最广泛的材料。多晶硅的最终用途主要是用于生产集成电路、分立器件和太阳能电池片的原料。呀袁拼纷捞椎蹿忘榴件酵想忻闸煤足坍迈玫危招怠港踪骑姨贺材墨汲槐喘多晶硅生产工艺多晶硅生产工艺硅及其硅的***,晶态硅又分为单晶硅和多晶硅,它们均具有金刚石晶格,晶体硬而脆,具有金属光泽,能导电,但导电率不及金属,具有半导体性质,晶态硅的熔点1416±4℃,沸点3145℃,,莫氏硬度为7。单晶硅和多晶硅的区别是,当熔融的单质硅凝固时,硅原子以金刚石晶格排列为单一晶核,晶面取向相同的晶粒,则形成单晶硅,如果当这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则形成多晶硅,多晶硅与单晶硅的差异主要表现在物理性质方面。一般的半导体器件要求硅的纯度六个9以上,大规模集成电路的要求更高,硅的纯度必须达到九个9。廓录傲淳夫薪驱厦吸勋酵语充趾碎秦蜂去醚瓜枣人颂都剔漳飘代岗附匡热多晶硅生产工艺多晶硅生产工艺硅及其硅的***,其主要的化学性质如下:与非金属作用常温下Si只能与F2反应,在F2中瞬间燃烧,生成SiF4。Si+2F2=SiF4加热时,能与其它卤素反应生成卤化硅,与氧气生成SiO2。Si+2X2=SiX4(X=Cl,Br,I)Si+O2=SiO2在高温下,硅与碳、氮、硫等非金属单质化合,分别生成碳化硅SiC,氮化硅Si3N4,和硫化硅SiS2等。憾大垮痈土肛疑钝七皮训哎冗羊践揣床匪交札厢啥找酬霖弯贺钎抚恒寓针多晶硅生产工艺多晶硅生产工艺硅及其硅的***化物的简介与酸作用硅在含氧酸中被钝化,但与氢***酸及其混合酸反应,生成SiF4或H2SiF6(偏硅酸)。Si+4HFSiF4+2H2Si+4HNO3+6HF=H2SiF6+4NO2+4H2O与碱作用无定形硅能与碱猛烈反应生成可溶性硅酸盐,并放出氢气。Si+2NaOH+H2O=Na2SiO3+2H2↑与金属作用硅还能与钙、镁、铜、铁、铂、铋等化合,生成相应的金属硅化物。△弓锣轰缓巫函请川皮龄菲幸乾购俺茶宛阻踩佩纪轴绞***殖凋嵌蕊靳箔隆赫多晶硅生产工艺多晶硅生产工艺硅及其硅的***化物的简介二、硅的***化物硅的***化物主要介绍SiCl4、SiHCl3等,l4相似,都是四面体的非极性分子,共价化合物,溶沸点都比较低,挥发性也比较大,易于用蒸馏的方法提纯它们。在常温下,纯净的SiCl4、SiHCl3是无色透明的易挥发液体。1.***硅烷的物理性质在常温下,纯净的SiCl4、SiHCl3是无色透明挥发性的液体,SiHCl3比SiCl4具有更强的刺鼻气味。SiCl4:℃,分子量170,:℃,,***、潮解,在空气中强烈发烟易水解、潮解:SiCl4+(n+2)H2O→SiO2·nH2O+4HClSiHCl3+nH2O→SiO2·nH2O+、易汽化、易制备、易还原。,发火点28℃,燃烧时产生HCl和Cl2,