文档介绍：FSn-150激光平面干涉仪使用说明书南京英特飞光电技术有限公司2007年6月1仪器简介FSn-150是由本公司开发的菲索型立式激光干涉仪主机,可外接图像显示器形成目视观察、判读条纹的光机型干涉仪(Marc-150),也可加装移相器、计算机等构成数字波面干涉仪(Hi-Marc-150)。由于干涉仪对抗震要求较高,本仪器的光学系统应放置在有防震垫的工作台(光学平台或大理石平台)之上,。本仪器采用菲索干涉原理(图2),在图像接收光路中设置了空间滤波器来改善干涉图的质量;一个变倍系统可以放大干涉图以便观察小口径的被测件;电控的对点、测试切换使系统更稳定、调整更方便。高精度的标准参考反射镜保证了相对测量的准确度。本仪器适合测量大口径平面光学元件的面形,无需特殊夹具。也可配各种光学调整架和辅助光学部件进行均匀性、平行差、棱镜角差等的测试。图1Hi-Marc-150干涉仪本仪器主要用途为:?平面面形测量(非镀膜表面、高反射率镀膜表面*)?小角度平行平晶的楔角测量?角反射器(锥体棱镜)角度误差/综合波差测量**注:部分测量需要另配特殊夹具和软件。:220V/:He-Ne激光器,λ=::λ/10(平面系统,95%口径,P-V)*:1~5×,:标准视频信号,:调整(十字叉丝)与测试(干涉图):高分辨力、高灵敏度、D*注1:光学质量主要由标准参考平晶确定。本仪器标准参考平晶质量符合1级平晶要求(GB28-2000平晶检定规程),如有变化,请以合同约定为准。*注2:标准参考平晶是在仪器中的状态是环形支撑,在设计、加工中我们已经考虑了自重造成的弹性变形因素。如需要取下后在其他状态下检测,请考虑加上该因素。*注3:与标准参考平晶配对的反射平晶,是在70%口径左右的环形支撑,自重He-D图2菲索型激光干涉仪主机光学原理图变形不大。但在长期存放时,请保持工作面向上的状态。。如图3所示,仪器后部具有220V电源接口、与计算机的通讯连接接口、两个视频输出接口(一个接计算机内插的图像采集卡、另一个接视频监视器)。与计算机的连接接口两个视频连接接口交流电源接口图3干涉仪后部视图(接口与稳频激光器电源),但应该依次打开,不能由电源插座一次全部打开,以防电流冲击造成电气损坏。一般需要在开机后20分钟后再开始测试,因为He-Ne激光器的模式稳定需要一定的时间。刚开机时我们会发现干涉条纹在不停的漂移,有时激光器出现双模时还会使干涉图对比度下降。如果选用的是稳频激光器,还可以通过调整电流设置点,来增加干涉条纹的对比度。(对点)状态和测试(干涉图)状态之间切换,有三个办法可以进行切换:?干涉仪遥控盒的面板上,有切换开关(Marc系统,图4);?在干涉仪上,有切换开关(图5);?计算机上,软件操作界面右边的软面板上,有一个转换按钮(Hi-Marc系统,见软件说明书)。处于调整状态时,在监视器上可看到十字叉丝、参考反射镜和测试反射镜等的反射光点。当光路中放置被测件时,也可以看到它的各个表面的反射光点。处于测试状态时,可以看到参考反射镜的整个光斑,如果测试反射镜或被测样品调整正确,则可以看到干涉条纹,并可通过条纹获得所需要的测试结果。图5干涉仪的切换开关(门内左上方),进入调整(对点)光路,在监视器上可看到十字叉丝和多个反射光点。调整标准参考反射镜使其基本平行于平台,可以在屏幕上看到标准参考反射镜的反射光点。将调整到屏幕中央,与十字叉丝中心重合,则调整完成。,回到测试(干涉图)光路,微调调整标准参考反射镜,使光斑无切割、变形,此时要注意不要出现杂光。,然后对其进行初调,对准光点达到重合。通过切换开关,回到测试(干涉图)光路,监视器上可见到密集的干涉条纹。观察干涉条纹是否充满全口径,如有切割,则移动被测件,然后重新进行初调,使被测件全孔径出现在监视器上。最后微调左右与俯仰二个调整螺杆,使得视场中看到的干涉条纹少于六条。?干涉条纹按判读方式不同而不同,如果是目视观察,则3~4条最好,并且至少要在条纹的两个方向进行观察;如果是进行移相采样,则条纹越少越好,条纹越少则波面复原的理论精度越高。?在微调时,请关好测试空间的门,防止气流等的干扰。,可以进