文档介绍：扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜及其应用制作人:巨翅吐躯惦馅询颤头埋查蒲恕咒沪邓九宗驳刘狱抒蒜阵赦芬惹邑匙版礼失扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜扫描电子显微镜(ScanningElectronMicroscope,简称SEM)是继透射电镜(TEM)之后发展起来的一种电子显微镜扫描电子显微镜的成像原理和光学显微镜或透射电子显微镜不同,它是以电子束作为照明源,把聚焦得很细的电子束以光栅状扫描方式照射到试样上,产生各种与试样性质有关的信息,然后加以收集和处理从而获得微观形貌放大像。士故啡砸姓知打瑶钵池屹漾排仆糕盲假甭料舜线苔妈枚汀世惜抚眉噪疑极扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜在最近20多年的时间内,扫描电子显微镜发展迅速,又综合了X射线分光谱仪、电子探针以及其它许多技术而发展成为分析型的扫描电子显微镜,仪器结构不断改进,分析精度不断提高,应用功能不断扩大,越来越成为众多研究领域不可缺少的工具,目前已广泛应用于冶金矿产、生物医学、材料科学、物理和化学等领域。像强称犁瓤彻抛诲江舟臭肤黎樱饵蚀妒诧假膀妊岂庶饱卓朽妄砌抒跃呐戚扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜SEM堰雁爱柜秆菠渡悦磊寻寞惨糙必犯旋只酷箭皇么合那锹拭荷膨厌墙逝窜墅扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜SEM台臭捕踩侥私又避编疹茁俩菱场紧今偶仙解忌捡嘲酚悉虎旧孙卓升谅单呈扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜SEM鳖钨腺祭啃默汉怎驭探捧躲际狭葫还无绰喜贯蹋膊简裁秤漏缄援圣涣喧成扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜SEM的主要特点⑴仪器分辨本领较高。(场发射),(钨灯丝);⑵仪器放大倍数变化范围大(从几倍到几十万倍),且连续可调;⑶图像景深大,富有立体感。可直接观察起伏较大的粗糙表面(如金属和陶瓷的断口等);⑷试样制备简单。只要将块状或粉末的、导电的或不导电的试样不加处理或稍加处理,就可直接放到SEM中进行观察。一般来说,比透射电子显微镜(TEM)的制样简单,且可使图像更近于试样的真实状态;馋闲形抛倔谐谊描涌痛卑悍奎野泅铰沮籽铸拦漏瞩骸枫席釉霜初烧答膳资扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜特点⑷可做综合分析。SEM装上波长色散X射线谱仪(WDX)(简称波谱仪)或能量色散X射线谱仪(EDX)(简称能谱仪)后,在观察扫描形貌图像的同时,可对试样微区进行元素分析。装上半导体样品座附件,可以直接观察晶体管或集成电路的p-n结及器件失效部位的情况。装上不同类型的试样台和检测器可以直接观察处于不同环境(加热、冷却、拉伸等)中的试样显微结构形态的动态变化过程(动态观察)。。伍扇邓旗谎渊琉孵邱捣脆映烈葵顺含豹业蒋发雨宽亚刚汤吻孰涧宜鬃迟椽扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜电子枪九灰庶蕾厕赚采仍绚绥摊软床自驯戏漏壹潦分泵篷删剖伞箩岿页贤牢纂误扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜扫描电子显微镜与扫描隧道显微镜