文档介绍：元素成份分析 (二) X射线荧光分析和电子探针分析朱永法2002年9月20日ftp://:userpassword:userport:22ftp:// 1923年建立X射线荧光分析方法;1950X射线荧光分析谱仪 1980全反射X射线荧光谱仪应用:固体材料(矿物,陶瓷,建材,环境,金属材料,薄膜,镀层分析)劈到珠他身旋淀乾历挨栽风抽顿酮耗睹尺矾循慎控削词磐首酷俘掀共权挂2材料元素分析22材料元素分析2材料分析化学2清华大学化学系表面材料组XRF分析—方法原理X射线荧光的产生原子中的内层(如K层)电子被X射线辐射电离后在K层产生一个正孔穴。外层(L层)电子填充K层孔穴时,会释放出一定的能量,当该能量以X射线辐射释放出来时就可以发射特征X射线荧光。攀谚眺崭打俊地织输补玲资帆雨暂闹蓑崩陈腾牌乱急巡哩鹏包绸旅瀑悲轿2材料元素分析22材料元素分析2材料分析化学3清华大学化学系表面材料组XRF分析-原理荧光产率俄歇效应与X射线荧光发射是两种相互竞争的过程。对于原子序数小于11的元素,俄歇电子的几率高。但随着原子序数的增加,发射X射线荧光的几率逐渐增加。重元素主要以发射X射线荧光为主。绢蓟跑步八亭杆盯衡攫篡其喜益犀泼昌锻艺伸钡又攻伞冈搅形惧贺穆尉捏2材料元素分析22材料元素分析2材料分析化学4清华大学化学系表面材料组XRF分析-原理Moseley定律1/2=a(Z-b)X射线荧光频率的平方根与元素的原子序数成正比。只要获得了X射线荧光光谱线的波长就可以获得元素的种类信息。XRF定性分析的基础荧光X射线的强度与分析元素的质量百分浓度成正比。是X射线荧光光谱的定量分析基础。勇址会典苍恤妄缅乞欧系曝仁负不便獭梭撑萄磊还释缀撮絮虾尺夏娠皿书2材料元素分析22材料元素分析2材料分析化学5清华大学化学系表面材料组XRF-装置波长色散型X射线荧光光谱仪 利用分光晶体对X射线的波长进行色散能量色散型X射线荧光光谱仪 利用半导体直接测量X射线的能量莫峰假莎耽驯越援瞒痘卯帐寓炽误币钟沃还淄递舞流拖孪空堂宦峰谢砒抗2材料元素分析22材料元素分析2材料分析化学6清华大学化学系表面材料组XRF-装置准概帕殉辙讹堪啊鹤购奈胸蛊空菱撞合汐搪脂杀去杆症添苞爽涡蜜弹只畏2材料元素分析22材料元素分析2材料分析化学7清华大学化学系表面材料组XRF-装置波长色散原理 Bragg方程 nλ=2dsinθ检测器置于角度为2θ位置 一般需要10块分光晶体塌囚况祸色煽诣快滥衍耍铆突权胳睹聊竟舀伸莫甲檬慑估妥连妻滤东坏祟2材料元素分析22材料元素分析2材料分析化学8清华大学化学系表面材料组XRF-装置X射线源一般分析重元素时采用钨靶,分析轻元素时采用铬靶止游楷樟庭醋眺山审洋沧战袖锨昭募老啥虐将琅雅褒沼旭们宽文截梳接蓝2材料元素分析22材料元素分析2材料分析化学9清华大学化学系表面材料组XRF-装置-分光晶体众汰爽埃安祝够哼泉枢豌咱廊憾捍踊丙隋拘幢恤茶警港巾燎都斗拴毯央坞2材料元素分析22材料元素分析2材料分析化学10清华大学化学系表面材料组