文档介绍：无尘室根据洁净程度不同分很多等级目前各半导体加工和面板组装厂的无尘室等级大都为1000级和100级的居多数字越小,洁净等级越高1000级的概念是:每立方英尺内,:每立方英尺内,,每个等级所管控的颗粒大小也不一样依据美国联邦政府颁布的标准【FederalAtandard(FS)209E,1992】,可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、10000级、100000级,如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述,,无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如:(,密度不大于75颗/立方英尺),(,密度不大于35颗/立方英尺)。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。无尘室等级,无尘室标准,无尘室标准定义一、无尘室定义将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度,控制于一定范围内之空间。此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及粒子,且指一般空气清净机无法完全清除之灰尘。无尘室一般分为电子、精密工业用IndustraialCleanRoom(ICR);及需控制微生物浓度等制药、食品产业用BiologicalCleanRoo(BCR)。二、联邦规格无尘室等级现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格(),BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格()。:1ft3空气中,(micro)以上的微粒子,及称为[等级○○]。例如:,表示为“等级10”。二自然界大气中通常含有300000~30000000个微粒子。三、在JIS标准下,无尘室清洁度,共分为8个等级一般清洁度是指空气的洁净等级,分为等级1、2•••8,8阶段。在1立方公尺的空气中,;百个以下是100=102是等级2;千个以下时是1000=103等级3,一次类推。21世界,最尖端产业的发展,加速了产业结构的变革,无尘室设立之必要性也相对地提高。商品日渐的小型化和精密化,尘埃和温湿的变化对商品的完成度亦造成极大的危害,导致品质低下。伴随商品的高品质要求,环境无尘化的需求也日益提高。因此在无尘室中用防尘材料及商品都显得格外重要。所谓的无尘室是一个人造的环境,里面含有的粒子远低于一般的环境,随着集成电路的级数的快速成长,也增加了对制造环境(无尘室)洁净度要求,。优于纳米技术的兴起,造成半导体关键尺寸持续缩小,集成电路积集度不断地增加,尘粒更容易使芯片失效或可靠度恶化。例如当金属尘粒落到金属导线时,就可能会使金属导线形成短路。又如果有酸性的离子化合物尘粒掉在金属导线上,可能将其腐蚀,所以无尘室为集成电路制造不可或缺的要素。无尘车间标准,洁净室标准  一、无尘车间(CleanRoom),亦称为洁净室或无尘室。  「无尘车间」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除,并将室内