文档介绍：天津大学
硕士学位论文
BaO-TiO<,2>系统微波瓷料的研究
姓名:赵玉双
申请学位级别:硕士
专业:微电子学与固体电子学
指导教师:吴顺华
20030101
要摘治霰砻鳎形潞偷臀孪低车闹骶嗑N⒉:烧结温度:本论文以甌低澄Q芯慷韵螅直鸲灾形潞偷臀翨—系统陶瓷的微观结构和介电性能进行了分析。利用电子陶瓷工艺,在系统中添加适量的、和物质,使烧结温度由高温降至中温℃,并且改善了系统的介电性能。加入,和.。“,促进了液相烧结。加入适量,取代”,形成景换型固溶体琒虰琒,降低了体系的自由能,促进了烧结;另外还通过反应:”一有效抑制了的还原,提高了系统的怠<尤肷倭縈,利用反应:狹”,抑制了的产生,提高了系统的怠M保ü谋原料中钡钛的比例,得到了最佳的:比值为为了使烧结温度进一步降低,以便采用较便宜的电极或含量较少的/合金电极,我们在中温系统中加入玻璃。适量玻璃的添加使烧结温度降至中温甌低烧结温度:低温猅低常关键词:甌低常形律战幔臀律战幔珺,烧结温度,介电性能蚇,由和同时取代,生成复合型固溶体天津大学硕士学位论文妗×。￡±×。.”,￡,!.
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导师签名::匙五叹学位论文作者签名:起土致导师签名:久。恹竿签字日期:删,年』月卯日签字日期:硼年/月独创性声明学位论文版权使用授权书签字目期:薰辏旅或撰写过的研究成果,也不包含为获得墨生盘堂或其他教育机构的学位或证本学位论文作者完全了解叁洼盘生有关保留、使用学位论文的规定。特授权墨注叁茔可以将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中本人声明所呈交的学位论文是本人在导师指导下进行的研究工作和取得的研究成果,除了文中特别加以标注和致谢之处外,论文中不包含其他人已经发表作了明确的说明并表示了谢意。索,并采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编以供查阅和借阅。同意学校向国家有关部门或机构送交论文的复印件和磁盘。C艿难宦畚脑诮饷芎笫视帽臼谌ㄋ得
第一章绪论§。其中用作电容器介质的介电材料在整个介电材料中占有很大比重,它可以分为有机和无机两大类。近年来,新型陶瓷介电材料获得快速发展,其中独石电容器虺芃材料是典型的代表。微波介质材料主要是用于制造介质谐振器、微波集成电路基片与元件、介质波导、介质天线等微波器件的介电材料。随着微波器件的小型化、轻量化、高可靠性化,微波介质材料有了很大发展,并成为新兴的重要介电材料⋯。本章对独石电容器介质材料和微波介质材料两大体系介电材料分别予以介绍。随着电子技术的迅速发展和广泛应用,特别是大规模集成电路的推广和应用以及表面组装技术姆⒄梗缘缱釉<岢隽舜笕萘俊⑿√寤⒊な倜高可靠性的要求。独石结构陶瓷电容器正是适应电子设备的这一新要求而发展起来的。一般的电容器是用烧好的瓷片与电极组装成电容器,而独石电容器是将瓷料直接与电极烧成一个整体,故称独石。图荕牡极结构。图结构示意图从图中可以看出:在两端,内电极以并联的方式与相应端面的外电极相连接,因此,实际上是许多单层陶瓷电容器片并联而成的。与其它种类的陶瓷电容器相比,具有以下特点:的并联结构决定了它具有较大的比容,可通过改变介质厚度与叠片第一章绪论
.朗缛萜魈沾刹牧电极材料,如%一取S捎贏矿在一定条件下容易发生迁移,纯层数来调整的容量,因此的容量范围大,并且从小于稳定性,可靠性高。的电介质和内电极是同时烧成的,如果瓷料的烧成温度很高,那么度上升。相反,如果瓷料的烧成温度较低,就可以使用低熔点但较廉价的或到焉唐坊体积不断减小。随着集成电路工作电压的不断降低,片式的介质层琂下在研制开发层厚为为多层并联结构,等效串联电阻。梢越档偷缏匪鸷摹S于无引线或引线很短,减少了寄生电感和电容,有利于提高工作频内电极与陶瓷介质在高温下同时烧结,成为一体,结构牢固,提高了产品的耐冲击和抗震动能力。其内电极埋在陶瓷介质之间,不与空气接触,不易氧化;外电极经烧渗工艺也与陶瓷介质形成一个整体,对环境有很好的各种电容器瓷料均可用于制造。的性能主要由材料的性能决定,对作为电介质的陶瓷材料,国内外进行了广泛的研究。由于的内电极不得不使用熔点较高的铂、钯等贵金属材料,从而使成本大幅/合金作内电极,降低的生产成本。所以,降低瓷料的烧结温度成按陶瓷材料的烧结温度不同,可将三种类型:呶律战嵝鸵簧战温度高于。缂ú牧媳匦氩捎肞裙蠼鹗簟中温烧结型一烧结温度为—℃,可采用/