文档介绍：万方数据
掺杂碲镉***富碲液相外延材料特性的研究仇光寅,张传杰,魏彦锋,陈晓静,徐庆庆,杨建荣红外与毫米波学报··,人们也在积极探索高工作温度—,碲镉***红外探测器通常的工作温度在浇臀鹿ぷ鞯奶氐阒圃甲鸥锰讲馄鞯挠红外探测器的制备技术,这一技术已经成为第鶫焱饨蛊矫嫣讲饧际醴⒄,这里的代表弱掺杂材料,而弱筒粼忧∏∈,载流子昭浓度通常大于眂ǎ捎贖瘴坏牟晃榷性,ü羧階,,等元素来实现⋯,其中,:———泄蒲г荷虾<际跷锢硌芯克焱獬上癫牧嫌肫骷氐闶笛槭摇I虾摘要:对富碲液相外延掺杂碲镉***材料的研究发现,其电学性能存在着不稳定性,,外延材料中的在高温富***激活退火过程中具有向材料表面扩散的效应,导致在表面形成了高于主体层浓度个量级的高浓度表面层,并导致了%,掺杂液相外延材料的电学行为得到了较好的解释,:碲镉***;霍尔效应;掺杂;激活退火;双层模型中图分类号:.文献标识码:狫,—:琙狥珻,畆【收稿日期:藁厝掌冢基金项目:国家自然科学基金。上海市自然科学基金作者简介:仇光寅,男,博士生。主要从事薄膜材料生长工艺及性质研究,,琒珻,·.甀琀瓸,瑀·.,..篐籋;—籥籰:..:衐:籒:
万方数据
%。而实验年,美国难芯咳嗽甭氏缺ǖ懒死器件性能参数相同的条件下,器件工作温度被提高算,∧***气氛中进行高温热处理才能使占据位成诒鞠钛芯恐校捎玫娜却硖跫牵娴牡臀峦嘶鹄聪牧现械墓瘴唬定,式中血和直鹞9馄赘缮嫣跷频募渚嗪筒牧扰,,结优良的、,比如,分子束外延徊粼覤籋合嗤延⋯,离子注入∞龋牵靡陨险庑┘际趵获得低至。受主浓度的掺杂材料,,他们发现,原子在富碲生长溶液中的分凝系数只有~。这一特性使得富碲液相外延具有先天的优势来获得极低掺杂浓度的筒牧希牵孀研究的深入,也发现该工艺所制备的材料的电学参数并不稳定,相近工艺条件下所获得的材料的电学参数波动较大,,采用离子注入工艺制备的一叮狿推骷蛟诮谌〉昧私虾玫慕梗本文就富碲液相外延掺杂材料的电学性能的不稳定性,,,指的是生长过程中原本在薄膜材料中均匀分布的原子,在后续的高温退火处理中向表面聚集,在表面形成的富集层,这一富集层中的原子浓度以及富集层的厚度与退火条件有