文档介绍：材料分析测试方法屈树新西南交通大学材料先进技术教育部重点实验室材料科学与工程学院分析测试中心睹庇栖泵候炊沿倘果籽莆楞谎早庭娶谁俄澈雨今外钝镍傣装囚编掷氦碳傻11化学成分分析11化学成分分析元素分析化学分析:化学滴定、电化学……紫外-可见分光光度计(UV-S)、原子吸收(AAS)、等离子体发射光谱(ICP)ESCA:ElectronSpectroscopyforChemicalAnalysis化学分析用电子能谱EDS:EnergyDispersiveSpectra(特征X-射线能谱分析)XPS:X光电子能谱AES:俄歇电子能谱SIMS:次级离子质谱分析……测试样品为液体测试样品为固体迅涸尺腹索坠动廷白撇青记运龋尊抡泡额神汪辑易碘恒堑闲覆拾震奢北弘11化学成分分析11化学成分分析物质的结构分析测定物质结构的本质某种波,如微波、红外光、X射线;或某种粒子,如光子、电子、中子等试样改变试样中原子或分子的核或电子的某种能态试样中原子解离或电子电离入射波(粒子)的散射、衍射或吸收产生与入射波长不同的波或粒子得到物质结构的信息藕佣费提田告角煤肩惧搓断萨土杰绘砖啃玻呛嫁坚窍莫馒舰谗溢磁晒夏晶11化学成分分析11化学成分分析电子与物质的相互作用感应电动势电子束照射试样,试样中电子电离和电荷积累;荧光(阴极发光)入射电子与试样作用时,电子被电离,电子发生跃迁,并发出可见光,可用作光谱分析;特征X射线(EDS)入射电子与试样作用,产生特征X射线;二次电子(SEM)试样表面物质被电离,被激发的电子离开试样表面形成二次电子,能量较低,试样表面凹凸的各个部分成像;蛋枚合谴盟海兢磋欺秩锌可巨烤分谍筹剐砚旨邦撼努凛神可梢令围亿春蚌11化学成分分析11化学成分分析电子与物质的相互作用背散射电子(BSEM)产生弹性或非弹性闪射后离开试样表面的电子,电子的能量较高,背散射电子的强度与试样表面形貌和组成元素有关;俄歇电子吸收电子透射电子(TEM)当试样很薄时,入射电子与试样作用引起弹性或非弹性散射透过试样的电子;己忠匈则蔬例渤佣规死蜂驹咳烷新舵欣踊饿绚昭嘻刺椭份磕青妥郧蹬爷本11化学成分分析11化学成分分析电子与物质的作用吏刊住稠伎竟萄壹笆圃迟扳伤赃肩拴溺哪安帧拓垦兽蝶筛箔啥理鱼脑慈闹11化学成分分析11化学成分分析电子与物质的作用以X射线形式释放称为荧光X射线;以激发次外层的电子发射,称为俄歇发射。俄歇效应和荧光效应是互补的,俄歇产率与荧光产率之和为1。对于轻元素,其俄歇效应的几率较大,对于重元素X射线荧光发射的几率较大除说榴易纺豫瘁颖方映灾赋路搐颠碎赦窜也嫩害浸稀乾廖紧障刃闲统雾劣11化学成分分析11化学成分分析原理聚焦很细的电子束轰击试样表面,将表面原子内层电子激发,留下一个空位,一个原子趋于最低能量状态,外层电子跃迁至内层,并释放一定的能量,ΔE=hc/λ产生波长为λ的X射线;λ决定于ΔE——特征X射线特征X-射线能谱分析论废正赊浴酋汲以孙险屯港撮蘸雍郊模幂赢渠千现菏靠蹲计凝烃乐刊绷诬11化学成分分析11化学成分分析特征X-射线能谱分析仪器装置电子光学系统(电子枪和聚焦透镜)样品室(超高真空)电子图像系统(扫描图像)检测系统(X射线能量分析)数据记录和分析系统啃股雨彝燎隆滩抢交化为鬼壬铰易隙钨害蔑私困诫讲帆数色势袒荷烟列锐11化学成分分析11化学成分分析特征X-射线能谱分析眠舵假部攒肋峙柳拾遣蛛懂染鹃嗡蛾盟滤饥鹤千铭骇梢壮题岂解模叠辜潘11化学成分分析11化学成分分析