第三章(二次更).ppt

文档介绍：材料合成与制备方法材料合成与制备方法聊城大学材料科学与工程学院第三章第三章薄膜的制备薄膜的制备本章主要内容本章主要内容基片及其处理方法基片及其处理方法物理气相沉积(真空蒸镀) 物理气相沉积(真空蒸镀) 溅射成膜溅射成膜化学气相沉积化学气相沉积三束技术三束技术溶胶溶胶- -凝胶技术凝胶技术 薄膜材料基础(1). 薄膜材料的概念采用一定方法,使处于某种状态的一种或几种物质(原材料)的基团以物理或化学方式附着于衬底材料表面,在衬底材料表面形成一层新的物质,这层新物质就是薄膜。简而言之,薄膜是由离子、原子或分子的沉积过程形成的二维材料。(2). 薄膜分类???????) ( film solid thin 固态液态气态(1)物态(2)结晶态: (3)化学角度???无机薄膜有机薄膜?????晶态非晶态: (4)组成???非金属薄膜金属薄膜(5)物性???????????????光学薄膜磁阻薄膜介电薄膜超导薄膜半导体薄膜金属导电薄膜热学薄膜声学薄膜硬质薄膜?厚度,决定薄膜性能、质量?通常,膜厚< 数十μm, 一般在 1μm 以下。薄膜的一个重要参数 3. 薄膜应用光学薄膜、集成电路、太阳能电池、液晶显示膜、光盘、磁盘、***硬化膜、建筑镀膜制品、塑料金属化制品 、化学角度来分,有: 1)物理成膜 PVD 2)化学成膜 CVD 薄膜的生长过程分为以下三种类型: (1) 核生长型(2) 层生长型(3) 层核生长型 薄膜的形成机理 (1) 核生长型特点:到达衬底上的沉积原子首先凝聚成核,后续飞来的沉积原子不断聚集在核附近,使核在三维方向上不断长大而最终形成薄膜。这种类型的生长一般在衬底晶格和沉积膜晶格不相匹配(非共格)时出现,大部分的薄膜的形成过程属于这种类型。