文档介绍：设备可靠性、有效性和可维护性的定义和测试规范
这个标准在技术上已被全球公制委员会核准,并由北美公制委员会直接负责。目前的版本在2001年3月1日被北美地区标准委员会核准通过。2001年6月将在国际半导体设备和材料协会试行,之后同月公布。其第一版公布于1986年,上一版公布于1999年6月。
目的
这份文献通过提供测试半导体制造设备在制造环境中的三性(可靠性、有效性、可维护性)的标准,为设备的使用者和供应商之间的沟通建立了一个通用基础。
范围
这份文献定义了设备的6种基本状态。它包括了设备的任何时间所有可能的状态。设备的状态由其功能状况决定,而不管操作者是谁。在这里所做的对设备可靠性的测试强调的是对正在使用中的设备的突然中断,而不是对设备的所有时间。
本文献第三节(设备状态)定义了如何对设备时间分类。第六节(三性测试)定义了测试设备状态的公式。第七节(不确定测试)另外给出方法用来评估所得数据的统计意义。
有效的应用这份规范需要设备的工作遵循它的周期及或时间。自动监测设备状态是标准SEMI E58中的内容,并不在本规范中。设备使用者与供应商之间清晰有效的沟通将持续提高设备的工作状况。
在这份规范中的三性的指数可以直接运用于整个设备的非成套工具和子系统水平级。三性指数可以适用于子系统水平(例如过程模块)的多路径组工具。
这份标准虽然有提到安全事宜,但目的并不旨在追求这个方面。它将是这个标准使用者的责任来建立合适的安全和健康条款,以及在使用前决定限制章程的运用。
参考标准
SEMI E58 —自动化的可靠性、有效性和可维护性的标准
注释1:本文列出的所有文献都使用其最新的适应版本。
术语
辅助—在一个设备周期中设备工作突然中断时发生,它有以下三种情况:
通过外部干涉使中断的设备周期继续。(比如通过操作工和使用者的干涉,无论它是人或电脑。)
除了一些特殊的消耗品,零件不可替换。
在设备操作规范方面没有进一步改变。
成组工具—由机械地连接在一起的集成过程模块组成的制造系统。(这些模块可能来自于同一或不同供应商)
单路径成组工具—只有一条流水线的成组工具。
多路径成组工具—超过一条独立流水线的成组工具。(比如,多负荷闸、同样型号的多流程单元室)
周期(设备周期) —一个设备系统或子系统的完全操作过程(包括装卸产品),有流程、制造、测试步骤。在一个单元流程系统中,周期数等于流经的单元数。在多批系统中,周期数等于批量数。
停工时间(设备停工时间)—设备不在工作状态或没有执行到它应有水平的时间,不包括任何不在计划安排上的时间。
故障(设备故障)—在没有外来干涉下发生的意外故障或偏离。
注释2:正确分类设备故障对于方便解决问题和提高设备能力是非常重要的。
宿主—联系设备的智能系统,作用相当于代表工厂领导下属的制造主任。(比如,一个非植入的计算机或单元控制器)
中断—任何干预和故障
注释3:中断=干预之和+故障之和
维修—保证设备在预定功能状态下工作。在本文献中,维修的目的是功能不是设备结构;不论是谁来维修,它都包括调整、材料变化、软件开放、修理、预定检测等等。
制造时间