文档介绍：第二章薄膜的力学性质(续) 第四讲
§ 内应力的测试方法
1、悬臂梁法
测量时常用基片—云母片、玻璃片
尺寸:15×2 ×~65 ×10 ×
测量方法:目镜直视法、各种光学法、电感法、电容法、
机电法等,其中电容法的灵敏度最高。
薄膜内应力:
2、弯盘法
采用圆形基片,分别测量出在淀积薄膜前后的基片的曲率半径R1和R2,则薄膜单位宽度的应力为:
基片:玻璃、石英、单晶硅
尺寸:×Ф18-×Ф30,光学抛光
测量方法:牛顿环法(常用)、x射线衍射法、光纤法等。