文档介绍：元素成份分析 (二) X射线荧光分析和电子探针分析朱永法2002年9月20日ftp://:userpassword:userport:22ftp:// 1923年建立X射线荧光分析方法;1950X射线荧光分析谱仪 1980全反射X射线荧光谱仪应用:固体材料(矿物,陶瓷,建材,环境,金属材料,薄膜,镀层分析)材料分析化学*清华大学化学系表面材料组XRF分析—方法原理X射线荧光的产生原子中的内层(如K层)电子被X射线辐射电离后在K层产生一个正孔穴。外层(L层)电子填充K层孔穴时,会释放出一定的能量,当该能量以X射线辐射释放出来时就可以发射特征X射线荧光。材料分析化学*清华大学化学系表面材料组XRF分析-原理荧光产率俄歇效应与X射线荧光发射是两种相互竞争的过程。对于原子序数小于11的元素,俄歇电子的几率高。但随着原子序数的增加,发射X射线荧光的几率逐渐增加。重元素主要以发射X射线荧光为主。材料分析化学*清华大学化学系表面材料组XRF分析-原理Moseley定律1/2=a(Z-b)X射线荧光频率的平方根与元素的原子序数成正比。只要获得了X射线荧光光谱线的波长就可以获得元素的种类信息。XRF定性分析的基础荧光X射线的强度与分析元素的质量百分浓度成正比。是X射线荧光光谱的定量分析基础。材料分析化学*清华大学化学系表面材料组XRF-装置波长色散型X射线荧光光谱仪 利用分光晶体对X射线的波长进行色散能量色散型X射线荧光光谱仪 利用半导体直接测量X射线的能量材料分析化学*清华大学化学系表面材料组XRF-装置材料分析化学*清华大学化学系表面材料组XRF-装置波长色散原理 Bragg方程 nλ=2dsinθ检测器置于角度为2θ位置 一般需要10块分光晶体材料分析化学*清华大学化学系表面材料组XRF-装置X射线源一般分析重元素时采用钨靶,分析轻元素时采用铬靶材料分析化学*清华大学化学系表面材料组XRF-装置-分光晶体材料分析化学*清华大学化学系表面材料组