文档介绍：电子显微镜
李冰
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电镜的主要结构
电子光学系统
真空系统
供电系统
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1 . 电子光学系统
1)照明部分
(1)阴极:又称灯丝,~
或Y形状。
(2)阳极:加速从阴极发射出的电子。为了安全,一般都是
阳极接地,阴极带有负高压。
(3)控制极:会聚电子束;控制电子束电流大小,调节象的
亮度。
阴极、阳极和控制极决定着电子发射的数目及其动能,因此,
人们习惯上把它们通称为“电子枪”。
(4)聚光镜:由于电子之间的斥力和阳极小孔的发散作用,
电子束穿过阳极小孔后,又逐渐变粗,射到试样上仍然过大。聚光
镜就是为克服这种缺陷加入的,它有增强电子束密度和再一次将发
散的电子会聚起来的作用。
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阴极(接
负高压)
控制极(比阴极
负100~1000伏)
阳极
电子束
聚光镜
试样
照明部分示意图
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2)成象放大部分
(1)试样室:位于照明部分和物镜之间,它的主要作用是通过
试样台承载试样,移动试样。
(2)物镜:电镜的最关键的部分,投射电镜的好坏,很大程度
上取决于物镜的好坏。
物镜的最短焦距可达1毫米,放大倍数约为300倍,最佳分辨本
领可达1埃,目前,实际的分辨本领为2埃。
(3)中间镜
(4)投影镜
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物
物镜
一次象
中间镜
二次象
投影镜
三次象
(荧光屏)
高放大率象
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物镜关闭
无光阑
中间镜
(作物镜用)
投影镜
第一实象
(荧光屏)
普查象
极低放大率象
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3)显象部分
这部分由观察室和照相机构组成。
在分析电镜中,还有探测器和电子能量分析
附件。
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扫描发生仪
显象管
和X-Y
记录仪
数据
处理
放大器
电子束
扫描线圈
入射光阑
电子能量
分析仪
能量选择光阑
探测器
图1-14 扫描电子衍射和电子能谱分析附件示意图
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2 . 真空系统
为了保证真在整个通道中只与试样发生相互作用,
而不与空气分子发生碰撞,因此,整个电子通道从电子
枪至照相底板盒都必须置于真空系统之内,一般真空
度为毫米汞柱。
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