锆钛酸铅薄膜腐蚀研究.pdf

文档介绍：红外与激光工程
第 8# 卷第) 期!""& 年%" 月
;:298# <:9) !"#$%$&’()"*(+),&$(-"./"&&$/".((!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!=4>9 !""&
锆钛酸铅薄膜腐蚀研究
蔡长龙!李明!马卫红!刘卫国
+西安工业大学光电微系统研究所? 陕西西安&%""8!-
摘要!通过对腐蚀溶液的优化!获得了一种刻蚀效果良好的锆钛酸铅+@’A-薄膜的腐蚀溶液配
方文中所采用的薄膜是通过溶胶凝胶法获得的在研究腐蚀溶液组分温度以及浓度对
" @’A ! +B:2!CD2- ! #
腐蚀速率影响的基础上!成功获得了@’A 薄膜微图形化的湿法腐蚀工艺"通过实验研究!获得了横向和
纵向腐蚀速率随温度和浓度变化曲线!侧蚀比$横比纵%小于%3%9"&!且图形表面无残留物"
关键词!@’A 薄膜& 湿法腐蚀& 腐蚀速率
中图分类号!AE8"* 文献标识码!F 文章编号!%""&$!!&#$!""&%")$"&%%$"*
!"#$%&’() *+,$ -%".(&,/+ /%/,&,/+ 01234 /5%& )%*67
GFH G60IC!2:IC? JH K1IC? KF LD1!6:IC? JHM :
+K14O:!:P>:D2D4>O1402 QRB>D/ J0S:O0>:OR? (1!0I AD46I:2:CR MI1TDOB1>R? (1!0I &%""8!? G61I0-
897/":./;F 5D>! 46D/1402 DO:U1IC PO:4DBB :V @’A >61I V12/B 1B ODP:O>DU9 @’A V12/B 0OD PODP0ODU SR
>6D /D0IB :V B:2!CD2 /D>6:UB9 A6D 1IV2NDI4D :V >6D B:2N>1:I 4:/P:B1>1:IB? >D/PDO0>NODB 0IU >6D 4:I4DI>O0>1:IB
:I >6D DO:U1IC O0>D 1B B>NU1DU9 A6D P0>>DOI1IC >D46I1WND :V @’A >61I V12/B 1B BN44DBBVN22R :S>01IDU NB1IC >6D
5D>! 46D/1402 DO:U1IC9 FV>DO ODBD0O461IC? >6D OD20>1:IB61P 4NOTDB :V >6D >O0IBTDOBD 0IU TDO>1402 DO:U1IC O0>1:
0OD :S>01IDU? >6D O0>1: :V >O0IBTDOBDXTDO>1402 1B 2DBB >60I %3%9"&? 0IU I: ODB1UNDB 1B :I >6D P0>>DOI9
<+= >("$7;@’A >61I V12/B& LD>!46D/1402 DO:U1IC& .O:U1IC O0>D
易腐蚀时能够保持准确的化学计量比文中拟采用
? 引言% &
湿法腐蚀方法来进行薄膜的图形化
@’A &
锆钛酸铅陶瓷是目前应用最主要由钛锆和铅的氧化物组成钛可溶于
+***@S’O!A1%$!=8?@’A- @’A ’&
广研究最深的铁电材料钙钛矿结构的