文档介绍：硕士学位论文中国科学技术大学飞秒激光功能微器件加工工艺及应用研究作者姓名:导师姓名:完成时间:丁君君精密仪器与机械黄文浩教授二狾年六月一日工学科专业:
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作者签名:三逊签字日期:—:￡签字日期:兰盘中国科学技术大学学位论文原创性声明中国科学技术大学学位论文授权使用声明口保密!。除已特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含任何他人已经发表或撰写作为申请学位的条件之一,学位论文著作权拥有者授权中国科学技术大学拥有学位论文的部分使用权,即:学校有权按有关规定向国家有关部门或机构送交位论文全文数据库》等有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。本人提交的电子文档的内容和纸质论文的内容相一致。保密的学位论文在解密后也遵守此规定。本人声明所呈交的学位论文,是本人在导师指导下进行研究工作所取得的成过的研究成果。与我一同工作的同志对本研究所做的贡献均已在论文中作了明确的说明。作者签名:论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅,可以将学位论文编入《中国学导师签名:
作者签名:三二星墨测,砗瑚了中国科学技术大学学位论文原创性和授权使用声明本人声明所呈交的学位论文,是本人在导师指导下进行研究工作所取得的成果。除已特别加以标注和致谢的地方外,论文中不包含任何他人已经发表或撰写过的研究成果。与我一同工作的同志对本研究所做的贡献均已在论文中作了明确的说明。本人授权中国科学技术大学拥有学位论文的部分使用权,即:学校有权按有关规定向国家有关部门或机构送交论文的复印件和电子版,允许论文被查阅和借阅,可以将学位论文编入有关数据库进行检索,可以采用影印、缩印或扫描等复制手段保存、汇编学位论文。保密的学位论文在解密后也遵守此规定。
摘要在微细加工领域中广泛的应用。本文采用理论和实验相结合的方法,优化飞秒激光加工工艺参数,进行微光学和微机械功能器件的微加工,探讨这些功能器件在应用中的若干问题。本文的主要研究工作及成果如下:谑笛槭业姆擅爰す馕⑾讣庸は低车幕∩希读思庸た刂迫砑苑擅爰す饧庸は低车哪芰亢蜕杪肪兜裙ひ詹问呕迪至宋⑼妇阵列的三维加工。结合飞秒激光加工和微电铸技术,得到了微透镜阵列员炔捎肧和街殖S霉饪探海呕ひ詹问迪至宋⒊萋值三维精细加工。并结合飞秒激光加工和微电铸技术,得到微齿轮的金属捎贸苌湎辔话宥苑擅爰す饨械髦疲ü笛檠芯慷猿苌湎辔话调制后的点、线实际加工效果分析。本论文结合飞秒激光双光子微纳加工的优点,优化加工得到几种不同类型的关键词:飞秒激光微纳加工超衍射分辨双光子加工微电铸飞秒激光双光子微纳加工具有真三维、亚微米分辨率和热效应小等优点,已的金属模具。模具。微功能器件,为以后飞秒激光微纳加工在领域中的应用提供了很好的参考。